在制造光学元件时，常常需要得到十分精确的平面、球面等，为此我们必须检查元件表面的质量，最简单的方法是用样板检验。我们通过观察干涉条纹的形状来判断被检表面的缺陷，从而进行相应的磨制，最终达到我们的标准要求。

利用从俄罗斯引进的ＡＤ－１０００数控研舅光机对Φ３３０ｍｍ×３５ｍｍ、２３０ｍｍ×２３０ｍｍ×４０ｍｍ再会愉Ｋ９材料平面光学元件进行计算机控制抛光工艺研究。通过工艺研究全面熟悉了设备的技术特性和工艺软件特性，验证了ＡＤ－１０００数控研磨抛光机在加工高精度光学元件基板方面Ｐ－Ｖ、ＲＭＳ值收敛效果明显，较传统加工方法在效率上有极大提高。

介绍了电磁波在等离子体中的传播以及用外差干涉的方法测量托卡马克装置等离子体电子密度的原理，详细讨论了在ＨＴ－７超导托卡马克上用于密度诊断测量的五道ＨＣＮ激光干涉仪光路的主要光学元件，如各类分束片、托卡马克密度诊断窗口的和厚度的设计以及光学材料的选择，并在实验中得到了委 结果，验证了设计的合理性和准确性，五道的位置分别为沿小环圆截面－２０ｃｍ、－１０ｃｍ、０ｃｍ、＋１０ｃｍ、＋２０ｃｍ。

世界各国十分重视超光滑表面光学元件的加工与检测技术的研究.本文阐述了超光滑表面在诸多科技领域的应用,并结合超环面光学元件检测的实例,研究了同步辐射超光滑光学元件的检测技术,其中包括大曲率半径、面形误差和表面粗糙度的检测.

本文以超声波加工机对玻璃等硬脆材料元件的加工工艺为主要研究对象，阐述了超声波加工的原理、变幅杆和刀具的设计以及加工工艺的研究，并将它应用在空间光学系统中光学元件的轻量化的加工。同时对加工后的表面微观特性－表面微裂纹和表面微应力进行具体测试分析，以解决在复杂的空间环境中元件的表面质量对使用精度和应力变形的影响，从而提出适于大型光学元件轻量化的工艺技术方法。

分析了四分之一波长膜堆和金属介质增强激光反射膜的吸收，计算和测量了连续波高功率激光辐照下光学元件的热变形．对理论计算和实测结果进行了比较。

在扼要描述了光学元件表面轮廓测量中功率谱密度(PSD)函数的基本概念、公式和应用基础上，重点讨论了光学元件表面低频和中高频空间频率PSD对光场分布的影响，并给出了强激光光学元件表面PSD函数曲线的几个实测结果。

为了有效地表征和评价光学元件局部小尺度波前畸变,提出了能同时反映空间频率和空间位置的Wigner分布函数评价方法。通过理论分析Wigner分布函数与功率谱密度之间的关系,得到了局部波前畸变的评价方法和指标。模拟计算和实验结果验证了该方法的有效性,并表明：该方法不但能判断光学元件的中频误差是否满足惯性约束聚变系统要求,而且还能确定不满足要求的特定区域,从而有效地指导光学元件的返修。

结构稳定性是ICF驱动器一个重要的设计指标。根据激光原型装置（TIL）多程放大、框架式设计的特点，结合矩阵光学对单个光学元件对光束漂移的影响进行了分析，综合不同光学元件对光束漂移的影响，建立了光学元件稳定性指标分配的数学模型，根据原型装置特点对数学模型中各参数之间的关系进行了确定，求解得到了装置内各个光学元件的稳定性指标，以此作为光机系统结构稳定性的设计要求。经过对原型装置光路稳定性指标的测试，光路稳定性漂移x方向和y方向均方根值为2．78μm，峰谷偏差值x方向和y方向分别为14．4μm和15．60μm。结果表明原型装置结构稳定性漂移满足设计要求，稳定性指标划分方法合理。

提出一种用计算机设计制作的双闪耀光栅，是在闪耀光栅和双频光栅基础上发展起来的一种新型光学元件，是由微闪耀光栅列阵组成的，兼有闪耀光栅和双频光栅的优良特性。