随着加工技术的发展，超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要。讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统，采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束，提出了新的优化测量光路。该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态，不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷、保证了系统的稳定性，且同时使接收端光束的振态方向一致，使干涉信号可见度最大、提高了系统的信噪比和测量精度。

介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法.给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果.

使用机械-化学抛光法加工大尺寸单晶硅可获超光滑表面．但很难保证良好的面型。提出通过采用开圆孔并连续注入抛光剂的方法来避免抛光盘中心蜂窝眼的出现，可以保证得到良好的面型。最后实验达到较好的面型精度，PV值0．268λ，rms值0．065λ。