为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵头、气雾喷头配合伯努力旋转工作台等实现晶圆的清洗。通过样机试验,晶圆表面清洗效果好,无晶圆二次污染及划伤问题,清洗质量满足工艺和使用要求。

为实现对导弹天线罩这类薄壁复杂回转体进行测量，研制了导弹天线罩几何参数测量仪。就测量数据的误差处理，探讨了应用鞍点规划的方法对天线罩廓形误差进行评定，给出了评定的线性鞍点规划模型，评定的最小条件，以及具体的操作方法。

次声监测技术是《全面禁止核试验条约》规定的四种监测技术手段之一,用来监测大气层中的核爆炸。根据次声台站监测过程中经常需要分析处理的次声信号类别,着重介绍分析爆炸、火山喷发、地震等令人震撼的事件以及微气压、海浪等日常司空见惯的自然现象激发次声波的机理及其信号特征。这些特征对于次声监测数据处理、去噪降噪、目标分类与识别等具有重要意义。

介绍目前常见的气相色谱仪零点漂移的原因和处理方法。在分析手动调零原理的基础上提出了自动调零方法。利用数模转换芯片AD7237对被测信号在运放中进行补偿，实现了自动调零，并讨论了该方法存在的效应。

面对复杂的色谱仪器系统，仅用万用表等测量工具已经无法对仪器进行有效地跟踪。色谱仪图谱显示功能以虚拟示波器的方式对被测信号尖峰的频率和幅值进行分析，显示幅值可调，使操作者能够及时了解仪器的动态特性。在采用高精度压频式A／D转换的基础上，通过设计高效的软件，实现了各通道数据的采集与处理。根据色谱曲线的特点，采用了一种基于插补算法的数据拟合与曲线显示，快速解析波形信息。实现了图谱定量分析、仪器自动标定等功能，进一步提高了仪器的智能化程度。

机车柴油机增压器，是在高温、高速中运转的精密机械装置，是内燃机车中故障多发部件之一。由于其全封闭式特殊结构以及检测技术水平的限止，增压器的状态检测一直是个尚未解决的难题。为此，上海铁路局科研所、上海铁道科技开发公司等单位，组成了专门课题组，对此进行了广泛的调查研究。

针对现有足式液压驱动机器人腿机构复杂、运动空间小、驱动力矩不稳定等问题,设计了一种足式液压驱动机器人腿机构.依据“D-H”法则对其进行运动学分析,并基于蒙特卡洛法得出在摆角范围内机器人足端工作区域.在规划重心单独调整的步态步行基础上,建立虚拟样机模型,依据ADAMS软件对其进行运动学仿真分析.结果表明:本文设计的足式液压驱动机器人腿机构能够完成行走,运动平稳,膝关节和髋关节力矩变化小,承载能力稳定,足端运动空间大.该腿机构符合理论设计及实际要求.

磁悬浮轴承作为一种新型无接触的支承型式，其无摩擦磨损、转速高、无需润滑、寿命长等优点已引起国内外工程界的广泛关注。本文介绍了永磁磁悬浮轴承磁力泵的结构及其工作原理，提出对传统磁力泵上的关键件（轴套、滑动轴承、止推环）进行新的设计，并对磁悬浮磁力泵的应用前景进行预测。

激波诱燃冲压发动机作为超燃冲压发动机的一种,更加适合高超声速飞行器机体与发动机的一体化设计。为了研究其前体/进气道的燃料/空气混合特性和增强机理,本文采用地面试验方法对不同悬臂斜坡喷注器的流场特性进行了研究。研究表明,悬臂斜坡上形成的斜激波呈很强的三维效应。燃料喷注后会改变悬臂斜坡上斜激波的方向,使其与斜坡的夹角增大。悬臂斜坡的存在使流场中产生了压差,影响了气流的运动轨迹,进一步导致了流向涡的产生。后掠喷注构型和双喷口构型的混合特性更好,三角构型喷注不能形成明显的斜激波压缩波系,混合效果不佳。

玉米去雄机可提高玉米去雄的工作效率，提高玉米产量，克服人工摘雄，温汤杀雄和化学杀雄的缺点。玉米去雄机行走同步性的精确控制是它的难点，分流马达的分流精度决定了它的同步精度。在简单介绍去雄机结构后，介绍了去雄机液压系统的设计。