应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。

本文从测量、采样间隔选取和置信因素Ｋ的确定等方面探讨用标准偏差评定圆光栅分度误差的可能性。

介绍了圆光栅的中周期误差产生的主要原因，检测方法以及评定带有中周期误差的圆光栅刻划的两种方法。

该文探讨了一种三自由度（DOF）平行双关节坐标测量机的测量原理和测量模型。分析了该测量机上的圆光栅测角误差对测量机测量精度的影响，给出了测角误差的补偿公式，利用该公式优化了测量机的测量模型。采用标准多面棱体和光电自准直仪对2个圆光栅的测角误差进行实验检定，并对测角误差修正前后的平行双关节坐标测量机测量精度进行了实验比对。结果表明，测量的极限偏差由0．033mm降至0．015mm，而标准差由0．0141mm降为0．0061mm，说明修正2个圆光栅的测角误差可大幅提高该测量机的测量精度。

论述了动态全积分法的基本原理和误差分析，比较了几种基本结构和信号处理方法的优缺点，对实现方法的关键技术进行了讨论。组合装配成原理实验装置，并作了三个对比实验，取得了较好的初步结果。实验表明动态全积分法能很好地消除光栅刻划误差及偏心的影响，提高了圆分度精度。此法适用于高精度测量系统。

研制闭环控制的用于角度标定与测量的分度装置,该装置以永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转带动角度分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度.由电流环、速度环和位置环组成的闭环控制系统实现零误差分度定位控制.研究圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对分度精度的影响,建立误差修正模型.经检定,系统在±5°的角度范围内分度精度达到±0.2",定位重复性0.06".

概括地综述了圆光栅型光电测速器的结构与工作原理，并介绍了几则应用实例。

介绍了关节坐标测量机原理、组成，并对其进行了误差分析。从理论上分析了圆光栅安装偏心误差对测量结果的影响，介绍了圆光栅分度误差测量方法，并采用非线性拟合的方法对该项误差进行了修正。

提出一种基于机器视觉的阀芯的关键性尺寸检测的非接触型自动检测系统。该系统针对某液压阀阀芯关键几何量进行测量,测量过程实现自动化,测量精度高。系统采用高精度绝对式圆光栅记录液压阀的角度信号,同时通过误差补偿来减小空回影响和定位误差,再由高分辨力的CCD图像采集系统进行图像处理,最终得出测量结果。以该系统为指导研制的检测仪能自动保存历史数据和生成报表,研制结果表明,仪器的不确定度优于5μm。

该文介绍了在数控转台上采用薄型油压缸的装置将数控转台在圆周360°范围内四等分有效地保证了数控转台在圆周360°范围内0°、90°、180°、270°这四个关键位置的分度精度同时相比较于市面上普遍采用的鼠牙盘分度定位结构或圆光栅全闭环反馈分度定位而言大大降低成本并且结构简单、使用操作方便.实践证明该结构设计合理实用性强可靠性高.