介绍了一种基于光散射原理的便携式激光表面粗糙度测量仪。它采用半导体激光器光源，以元心光路结构接收、处理经粗糙表面调制的散射光带，成功地解决了粗糙度测量精度高低与测量范围大小相矛盾的问题。仪器结构简单、操作方便、测量效率高，精度能满足生产实际的需要。

介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很 高的共模 抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2nm（Ra）。可以摆放在金刚 石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。

一种基于拍波干涉原理的无导轨大尺寸测量系统已研制成功.它以双纵模热稳频He-Ne激光为光源,其两纵模生成于同一振腔内具有天然同轴的优势,在整个测量范围内不会发生光束分离.两纵模频差约790MHz,拍波波长约380 mm.其稳定度(即拍波波长稳定度)与激光频率稳定度相同,在无空调并有冷热气流吹拂时可保证不低于10-7.两纵模频差以拍波节点为对准标志,采用自适应滤波和小波锐化器有效滤除噪声,从而提高了节点检测的测量精度.测量起点和终点到最近节点的距离由同一光源分出来的双频干涉仪精确测定,分辨力为0.08 μm.经实验验证:系统的测量范围大于20m,测量不确定度优于30 μm/10m.

介绍了一种根据电涡流效应和法拉第磁光效应设计出的磁光／涡流显微成像检测系统，实现了亚表面下细小缺陷的可视化。本系统选用执行效率高的VC作为开发工具来设计图像处理软件，并采用VFW技术实现了对该缺陷图像的实时获取。试验结果进一步验证了系统设计的正确性。

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作怀精密测仪，它采用一稳频双纵模激光作为光源，其拍频步率在６００ＭＨｚ－１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００－３００ｍｍ，稳定度为１×１０＾７－１０＾－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节间距离的分辨为０．０００１ｍｍ。

介绍了激光干涉法长度测量的基本原理，提出在不更换和调整系统中光学器件的条件下，实现线位移和角位移－机测量集成装置的设计思想。该装置结构简单，操作方便，既可直拉观察条纹变化情况，又能显示出具体的测量值。

分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测量物体表面微观形貌、进行多种表面粗糙度参数计算.此测量系统的分辨力优于0.1 nm,重复性2σ优于1.2 nm.

一种采用激光拍频干涉原理，测量大尺寸机械零件或构件的高精度测距仪系统已研制成功。它的特点是用双纵模He—Ne激光为光源，无需任何参考频率标准，稳频精度在室外有风的环境下优于1×10^-7。两个纵模的激光出自同一谐振腔，因而自然同轴，其拍频约为790MHz，拍波长约380mm。此系统以节点为对准标志，最临近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统干涉仪测量，干涉仪分辨率为0．08。无需长导轨或任何重型机械构件，测量范围0～20m。采用自适应滤波和小波分析，消除噪声、锐化波形，使测量的不确定度30μm／10m。

为了满足激光拍频干涉仪所需要的高的频率稳定性的激光光源，研究了双纵模热稳频的机理。以控制激光管放电电流为主要热控制方式及自创的对激光管进行感应加热作为微量控制的先进方法为控制手段，采用模糊控制理论与专家系统相结合的控制策略，建立模糊PID控制器，对双纵模激光源进行稳频。无须建立被控对象数学模型，对时滞、非线形和时变性具有一定的适应能力。实验结果显示，稳频精度无明显变化，但预热时间明显缩短，抗干扰性明显增强，强干扰后也能迅速稳频。

提出一种适合于金属亚表面缺陷的可视化无损检测方法——磁光／脉冲涡流成像方法。该方法以脉冲信号激励产生涡流，以激光对被检测物体的照射取代传统涡流检测的线圈探头，通过磁光传感元件将缺陷引起的磁场变化转换成相应的光强度的变化，由传统的显微镜、照明系统、偏振器和CCD图像传感器组成的光学系统将光强变化转换为“明”或“暗”图像，实现了对缺陷的实时成像检测。本文论述了磁光／脉冲涡流实时成像检测机理，给出了一种实验装置。通过对金属表面／亚表面缺陷实验，表明该检测方法快速、准确，可实现微／纳米级缺陷的成像检测。