简要介绍用于ＭＥＮＳ和微电子标准的纳米计量技术，并对其发展提出建议。

光学共焦显微镜现己广泛地应用于微机械、生物样品、材料及微电子器件的三维测量,但经典的光学共焦显微镜由于原理性限制,其分辨率与精确度远低于接触式传感器.现结合双频激光干涉仪和共焦显微镜的优点,使激光干涉共焦显微镜不仅横向分辨率高,而且使纵向分辨率达到0.1nm,扩展不确定度U95=13.4 nm,使之能测量纳米量级形位变化,而且测量值直接溯源至激光波长.

激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5 nm,为了对这样的非线性进行测量, 必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置.文中描述了高精度拍频法布里*.珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验.测量范围大于1.3 μm, 测量不确定度约为2 nm.

法-珀干涉仪有较高的分辨率,但是由于受到激光器模间隔的限制,测量范围较小。介绍了使用换模锁定法对其进行扩展,实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法-珀干涉仪,扩展了法-珀干涉仪的测量范围。

本文提出一种利用半导体激光器的波长调谐特性实现的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法，针对不同的待测距离，可选择不同的合成波长链，完成对待测距离的由粗测到精测的整个过程，文中基于这种方法构建了干涉测量系统，该系统利用压电陶瓷调制的在一条直线上的两个双光束干涉仪，使待测距离被包含于一个交流信号的相位项中，从而使小数条纹的测量转化为相位测量，合成波干涉条纹的小数级次由单波长干涉信号的相位测量值计算得到。文中以外尺寸测量为例描述了实验装置，实验结果表明，在现有的测量系统和实验条件下，待测距离小于5mm时的测量极限偏差优于2.0μm。

以UG NX为平台,建立了液压换管机整机结构的三维实体模型,并基于NX Nastran对其关键零件夹紧块进行了有限元分析与优化,使其结构更合理,减轻了整机重量,具有重要的工程实用价值。

以ADAMS为平台，建立了地下管线液压换管机液压系统的虚拟样机，并对其主要性能和参数进行了仿真分析研究，使液压系统更加合理，同时提高了系统的动态性能，具有重要的工程实用价值。

高压力热水泵的密封在国内应用较为广泛密封形式较多而其性能也不尽相同压力超过5MPa以上的密封设计在很多时候都是一个较难的问题高压热水泵密封的设计过程以及密封结构的分析认为在采用合适的方案中密封可以通过密封结构设计和辅助系统的应用获得较好的使用效果.

密封设计涉及的问题较多各种参数都对最终的设计有着重要的影响而且在一些要求的理解上是不一致的有些参数的细节提供上有微小差别就能造成很大的影响这就要求原始信息的提供必需完整、准确、全面这样才能避免失误的产生影响设备的正常运行.尤其是一些参数较高的密封更是对此十分敏感.该文通过对现场问题的综合分析和检查找出了密封失效的真正原因提出修改方案实践表明改进后的密封性能良好.

以UG NX为平台,建立了液压换管机整机结构的三维实体模型,并基于NX Nastran对其关键零件夹紧块进行了有限元分析与优化,使其结构更合理,减轻了整机重量,具有重要的工程实用价值。