提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法（ECR）在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜，研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时的频率偏离特性。该装置具有灵敏度高、动态性能好和操作方便的优点，有广阔的应用前景。