传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪器的局部改装,实现对三个平面的三维面型测量的一种改进的三平面互检法.将改进的三平面互检法的结果取其纵向面型信息与ZYGO干涉仪中three-flats程序直接测得的三个平面纵向面型的测量结果进行比较,结果PV值误差在0.001λ以内.验证了此法的准确性和可行性,为干涉法测量高精度面型技术的发展提供有力的支持.

采用激光干涉仪检测混联数控机床回转轴的运动精度,达到对其综合评价的目的,为机床的运动精度误差补偿做准备.对雷尼绍激光干涉仪的结构和角度测量原理进行了详细探讨,分析了干涉仪在回转轴运动精度测量中的主要影响因素和误差诱因;作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线,并提出了该测量误差的数学模型;讨论了激光波长补偿的机理,提出了一种通用、简便易行的回转轴角位移精度检测方法.

为了获得高反射率光学平面的绝对面形分布,提出了基于斜入射的平面度绝对检验方案。该方法通过菲索干涉仪的空腔干涉以及两次斜入射测量得到三组波面数据,使用Zernike多项式对波面拟合,通过求解待测表面的旋转不变量和旋转因变量获得整个平面的绝对面形分布。测量90 mm口径的镀铝反射镜,其绝对检验结果为0.266λ（PV）,0.075λ（RMS）。讨论了测试中斜入射角及旋转角的选取方法,并分别选择45°和54°进行测试。基于斜入射的平面度绝对检验方法操作步骤简单,特别适合于高反射率光学表面的绝对面形检测。

研究了基于光纤3×3耦合器迈克尔逊干涉仪及反馈跟踪相位变化的振动测量系统。该测量系统包含两个反馈控制环节：一个反馈控制环节用于补偿由于环境干扰引起的相位随机漂移;另一个反馈控制环节用于跟踪由于振动引起的相位变化,从而实现对振动幅值及振动方向的测量。该系统可对频率为1.5-200Hz的振动进行测量,测量分辨率可达到10nm。

该文对可用于测量动态角度量的测角方法进行研究并追踪其研究进展，主要介绍了激光干涉法、莫尔条纹法、基于PSD的测角法以及基于CCD图像处理和计算机视觉技术的动态角测量方法，阐述了各方法的测量原理，并分析了其优缺点和使用场合，最后针对动态大范围角度量的实时测量给出探讨性的意见。

移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展.目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视.

本文提出了压电晶体（ＰＺＴ）位移物曲线自动干涉测量方法，该方法利用干涉仪把ＰＺＴ的微位移量转化成干涉条纹相位变化量，通过过快速傅里叶变换（ＦＦＴ）方法自动复原干涉条纹中包含的相位的变化量，从而高精度地检测出ＰＺＴ的位移特性曲线，根据该方法，利用ＣＣＤ摄象机、图象板和干涉仪组合成一套光、机、电一体化的微位移自动测试系统，实际测量了我们研制的ＰＺＴ随电压变化的位移特性曲线，实验表明，该方法原理实现简单

微波在等离子体中传播时，相位会发生变化，通过相位的测量可以获取实时电子密度信息。这是微波诊断装置SUNIST托卡马克装置的首次使用，已经可以测量出放电过程中的电子密度曲线，测量范围在大约10^16～10^18（m^-3单位）。

提出了一种新的基于旋滤波法的干涉条纹预处理方法。该方法根据条纹图灰度值梯度分布规律，只在干涉条纹切线方向进行中值滤波，它能有效地处理各种相干噪声而不会使条纹变模糊。实验证明该方法能有效地去除随机噪声、椒盐噪声以及由于光照不均匀引起的较大面积的亮斑或暗斑等噪声。对于亮斑或暗斑，其滤波效果要明显优于Gerchberg外插迭代算法。以WYKO相移干涉仪5次钡4量的面形平均值作为被测面形的参考值，则经过预处理后，抑制了噪声引起的局部误差，傅里叶变换法计算得到PV值的误差从未预处理的14．4％（全口径）、13．1％（95％口径）分别减小到3．4％（全口径）、1．5％（95％口径）；RMS误差从28．7％（全口径）、23．3％（95％口径）分别减小到5．0％（全口径）、2．3％（95％口径）。

介绍了一种新的环形光源技术来抑制干涉仪系统的本征噪声以提高信噪比。阐述了环形光源抑制干涉仪系统本征噪声的原理，根据条纹对比度和需抑制噪声空间频率的要求，推导得到了环形光源的外半径和内半径。通过与传统的点光源对比实验表明：环形光源模式系统的本征噪声峰谷值小于点光源模式,且没有明显的牛顿环噪声,本征噪声的功率谱密度在空间频率小于2.5mm^-1时小于点光源的1/10，系统信噪比在空间频率小于2mm^-1时大于点光源的两倍。