应用两种方法对三个高精度平面进行测试。第一种方法是Fritz的三面互检法，它利用Zemike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得到的干涉图，然后求出三个面的Zemike多项式系数，从而得到三个面的面形偏差。第二种方法是奇偶函数法，根据函数的奇偶性，把平面的面形函数分解为四类：偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数，分别求出各分量，从而得到三个面的三维面形偏差。对两种方法都编制了理论模拟和实测程序，并进行了实验，实现了无参考面的高精度平面面形测试。

绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。