通过分析真空微波器件和排气台经常出现的高温（550℃）漏气的现象,发现现有排气台烘箱测温系统存在问题。从理论上对这一问题进行了分析,并在实验上验证了这一分析。理论和实验表明,随着温度的升高,现有排气台烘箱显示温度与真实温度相差增大。真实温度比最高显示温度高71℃。解决了困扰微波管排气工艺过程中高温漏气的难题。