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DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究

作者: 李新 唐祯安 徐军 鲍海飞 来源:大连理工大学学报 日期: 2023-06-21 人气:13
DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究
介绍了微机电系统(MEMS)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析.采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度.发现村底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm;而无DLC膜时,平均不到80μm.利用原子力显微镜(AFM)测得DLC膜表面的黏附力在7nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20nN.实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬臂梁的黏附.

雷达料位计在粉煤加压气化装置中的应用

作者: 徐军 李磊 王中蒙 侯成军 来源:中国仪器仪表 日期: 2023-03-19 人气:6
雷达料位计是利用电磁波的特殊性能来进行测量的一种高精度料位测量仪表,具有测量精确、效率高、安装简单等特点。本文介绍了雷达料位计在粉煤加压气化装置中的应用、测量原理、常见问题及解决方法。

高分辨扫描电子显微学

作者: 陈文雄 徐军 来源:金属制品 日期: 2022-07-17 人气:4
目前的扫描电镜可以分为三类,即热发射电子枪扫描电镜,场发射电子枪扫描电镜[1],场发射电子枪低像差物镜扫描电镜。

基于虚拟仪器的提升机衬垫摩擦系数测试系统

作者: 周丽霞 丁保华 贺克伟 徐军 来源:仪表技术与传感器 日期: 2022-06-15 人气:3
基于虚拟仪器的提升机衬垫摩擦系数测试系统
针对提升机不同工况下衬垫摩擦系数的测量,提出一种基于虚拟仪器的衬垫摩擦系数测试系统,在该测试系统中,利用虚拟仪器的PID模块实现了对衬垫比压、相对滑速的闭环控制。完成了测试系统软硬件的设计,该系统可以实现对不同压力、不同滑速下衬垫摩擦系数的测量。

“脚感法”判断液压制动系统故障

作者: 赵建芝 徐军 朱元忠 来源:汽车运用 日期: 2022-03-22 人气:166
(1)用脚尖轻踏制动踏板,若踏板踏到全程2/3时才感觉到有制动阻力,说明踏板自由行程过大。应调整踏板自由行程。

基于频率选择和高仰角天线的通信盲区解决方案

作者: 谢婷婷 徐军 蒋云阳 贾宁宁 来源:电子科技 日期: 2022-01-09 人气:3
基于频率选择和高仰角天线的通信盲区解决方案
针对工作实践中遇到的短波通信盲区问题,分析了盲区产生的原因,提出了两种解决盲区问题的途径,并阐述了可行性,并给出了在工程应用中通过选用较低频率和高仰角天线来解决短波通信盲区问题的具体方法,从而有效解决了模拟系统短波通信的盲区问题。

油门机构恒定力矩摩擦阻尼装置研究

作者: 倪笑宇 王涛 徐军 耿明超 凌刚 来源:润滑与密封 日期: 2020-11-30 人气:195
油门机构恒定力矩摩擦阻尼装置研究
为满足航空自动油门执行机构摩擦力矩的恒定,提高机载设备安全性和可靠性,设计恒定力矩摩擦阻尼装置。该装置采用β-Si3N4晶须增强铜基和陶瓷涂层结构钢作为摩擦副材料,并将摩擦副表面设计成一定的凹凸结构,以实现稳定的人感阻尼和离合器功能。试验表明,该恒定力矩摩擦阻尼装置可以提供不同的摩擦力矩,并可在一定时间内保持摩擦力矩和摩擦因数稳定,从而提高机载设备的寿命、可靠性和安全性。

商用车空气悬架的结构及其关键技术

作者: 何锋 杨洪江 徐军 来源:液压与气动 日期: 2020-05-07 人气:196
商用车空气悬架的结构及其关键技术
空气悬架以其优良的非线性特性对提高商用车的平顺性和减小道路破坏具有重要作用.该文介绍了商用车空气悬架的结构、特点和应用状况,分析了商用车空气悬架开发的关键技术,为商用车空气悬架的研发提供了一定的理论基础.

MCS-Ⅱ实验台电液比例系统设计及PLC控制的实现

作者: 贺克伟 陈军 徐军 万理想 来源:煤矿机械 日期: 2019-02-14 人气:25
MCS-Ⅱ实验台电液比例系统设计及PLC控制的实现
完成了MCS-Ⅱ实验台电液比例系统的设计,给出了系统的数学模型,并通过PLC实现了衬垫比压和相对滑速的闭环控制。

液压缸筒的冷变形修复工艺与其它工艺的对比

作者: 徐军 王和平 来源:机械工程师 日期: 2019-01-05 人气:157
液压缸筒的冷变形修复工艺与其它工艺的对比
针对液(气)压缸在使用中产生的磨损、划伤、鼓肚、点蚀等缺眙后,对比分毫斤了电镀、氛喷涂、热变形、涂胶、有机涂层填补、钎焊、电弧焊补及冷变形等修复工艺,指出冷变形工艺成本较低,适应于大批量、机械化大生产的需要。
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