现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展，对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足，在缺少更高准确度计量标准的情况下，往往采用比对的方法使计量结果趋于一致。国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一。文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍。

在轻敲工作模式下，原子力显微镜（AFM）压电微悬臂以较大的振幅振动。以纳米管针尖为例建立了压电微悬臂振动的数学模型并描述了纳米管尖端的振动轨迹，从纳米管尖端的振动轨迹和仿真图形的关系，指出压电微悬臂振动影响测量精度的有关参数及减小由振动产生膨胀变形的方法。根据数学图形学膨胀理论仿真出纳米管尖端振动轨迹对标准线宽模型的影响，AFM测量线宽的试验验证了上述结果。

介绍了一种能自动监测工业生产中溶液成分和浓度的电导测量仪，它采用交流不平衡电桥工作原理，并以微处理机作为系统的核心器件，具有温度补偿、多路信号输入、连续记录、报警输出功能和较高的灵活性和先进性。该仪器既可以有线性输出又可以有非线型输出，整个系统结构简单、紧凑。经过在大庆石油化工总厂化肥厂的实际运行表明：ＤＤ－１型电导测量仪设计合理，使用方便，工作可靠，测量精度达±１％，达到了预期设计指标和效果。

分别从材料选择、制造工艺、结构形式等方面对国内外空间光学系统反射镜的轻量化技术进行了系统的评述,分析了轻型反射镜技术的现状和发展趋势.针对国内的技术水平,对今后的研究工作提出了几点建议.

在现有理论的基础上，设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路。介绍了该电路的设计思想。与现有的AFM控制系统相比，X、Y方向的运动采用闭环控制，提高了控制精度。文中还介绍了一种简单实用的PI调节电路，该电路具有结构简单、成本低、功耗小和控制精度高等优点。

串扰效应始终存在于原子力显微镜（AFM）的测量过程中,并影响其测量精度.在对串扰效应的产生机理进行分析,并建立了悬臂梁形变与光斑位置检测器（PSPD）输出信号之间的数学关系的基础上,提出了一种可消除横向扭转串扰影响的修正方法.在该方法中AFM系统可由输出信号直接获得悬臂梁的实际形变量,进而获得原子间作用力的实际值,并通过保持作用力的恒定对样品进行测量.该方法可有效地将悬臂梁扭转导致的纵向信号的变化从系统测得的纵向信号中剔除出去.仿真结果表明,在恒力接触模式下,串扰效应严重影响测量结果,导致测量误差,且针尖-样品夹角导致的串扰效应比摩擦力导致的串扰效应更严重.为验证本文方法消除串扰效应的效果,在应用该修正方法前后分别对标准梯形样品进行测量.实验对比结果表明,在普通恒力接触模式下的样品表面最大测量...

匹配滤波器是用最大信噪比准则来衡量的最佳线性滤波器，能够检测淹没在噪声中的持续时间有限、波形已知的信号。在跨变压器台区工频电力通信系统中，信号检测需要判别的是在确定位置的信号有无问题，属于幅度信息的匹配检测。用匹配滤波器检测配电网工频电力通信信号可以提高接收端输出信噪比。

分析了现有线边缘粗糙度（Line Edge Roughness,LER）表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数表征.子波理论给LER的综合评定提供了恰当的工具.利用子波在空间和频率域内都具有的定位特性,可以在任意细节上分析信号特征,且构造的子波基准线不存在拟合误差,可以分析LER来源,改进刻线边缘加工工艺.给出了基于子波分析的几个LER评定参数,并分析了这些参数如何应用于工艺和元件电气性能的表征.

开展了陀螺加速度计在三轴转台上的测试试验，由于三轴转台给陀螺加速度计提供的输入加速度引入设备误差，需采用总体最小二乘法对试验数据进行辨识。将最小二乘法应用于辨识陀螺加速度计在三轴台上的测试试验，主要是消除了测试设备的误差对陀螺加速度计精度的影响，与最小二乘法辨识结果进行比较，总体二乘法的辨识结果要优于最小二乘法，提高了陀螺加速度计的辨识精度。

针对NanoscopeⅢ型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析.提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素.根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度.