针对轴类零件形状误差评定指标圆度和圆柱度，提出采用高精度非接触的激光测距法测量距离方案，利用最小二乘法评定圆度误差及采用径向全跳动的测量方法初步评定圆柱度误差，通过VC软件设计轴类零件形状误差软件系统；结果表明：采用VC软件平台与测量系统的软硬件结合，能够在系统软件的可视化界面中同时实现对轴类零件圆度和圆柱度误差的测量与评定，圆度误差值为0．693276，圆柱度误差为0．720，不仅实现了形状误差的自动评定，而且提高了评定效率和降低了成本。

微阀是微流控系统中起控制限流的重要组成器件.研究的微阀是一种基于微机械加工技术的无活动部件的单向被动阀,其利用通道表面张力的变化产生阻流作用,起到阀的作用.讨论了被动阀的工作机理,利用快速制备原型技术制作微阀,同时在玻璃表面制作憎水薄膜,将玻璃与PDMS基底贴合并施加一定的压力,即可实现微阀的简单封装.取去离子水进行测试,微阀可以成功的停住液流,最大可以产生1kPa的压力降.阀的操作模式试验表明,微阀适合于应用在低压、一次性使用的场合.

为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力，设计了基于UV—LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计，设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波以及电平转换电路组成，反馈通道由低通滤波和加法电路组成。完成了微加速度计测控电路的调试和检测通道的标定实验，实验表明：检测通道的量程约为±6pF，灵敏度为89．3mV／pF，线性度为2．59％，满足加速度计检测通道的要求。

目的 为了使4台血细胞分析仪检测结果 一致且可以溯源到国际参考方法 .方法 参照中华医学会检验分会血液分析仪校准规范化建议,1台仪器用配套校准品校准后,定值1份新鲜血,再用这份新鲜血校准另外3台仪器.结果 3台仪器校准达到校准表要求.结论 仪器稳定性及重复性良好时,可用新鲜血校准多台仪器.

反干涉齿轮集微机电系统密码锁是一种用于要害系统的机电一体化装置，通过访问意图密码与锁体内部固化的机械授权密码比对鉴别实现安全保证．研究了三相四对极轴向磁场微电机的步进控制逻辑，建立了鉴码系统的动力学模型，分析了系统的模态和不同摩擦参数下的动力学响应．分析表明，密码锁实现鉴码功能不仅要考虑驱动器的电气控制，还要考虑鉴码轴系的动态特性．通过控制棘轮棘爪处的摩擦力矩可有效提高微机电系统密码锁的鉴码性能．

提出一种由圆形板和大量扇形梁构成活动部件的新型高负载电容式微加速度计。通过将固定电极分为检测电极与驱动电极,可实现自检自标定功能。该微加速度计以金属为核心部件材料,并采用UV-LIGA微工艺进行加工。虽然活动部件因全柔性而具有复杂变形、器件内存在复杂机电耦合,但该传感器所建立的计算模型具有精确、快速的特点。采用AD7747对该加速度计进行了测试,并实现了结构参数、材料参数的标定及支撑梁发生破坏、尘粒进入腔室等故障的检查。

本文研究了基于MEMS加速度计的电脑无线输入设备，给出了输入设备系统的整体构成和主要的硬件组成。本文重点讨论了输入系统的固件设计，即在ARM嵌入式平台基础上，引入嵌入式操作系统，对输入设备的两个子模块进行了软件设计，并给出了一些相应的程序行。

随着信息量的急剧增长，信息安全日益受到人们重视。一个完整的数据加解密系统应该具备安全可靠的密码认证机制和加解密算法。本文基于MEMS强链、USB控制器和FPGA设计了一种USB接口的高效数据加解密系统．采用AES加密算法。普通IDE硬盘挂接该系统后成为安全性极高的加密USB移动硬盘，其平均数据吞吐率接近普通U盘，达到10MB／s。

针对油气开采过程中缺乏实时测控和多层分采技术手段的问题,开展了液控型智能完井技术和装备的研究。液控型智能完井系统采用了远程液压控制的方式,实现了井下多层分采与单层段的多级流量调控,并结合井下动态监测技术,达到了多层段油井的分层实时测控的目的。井下液控滑阀是实施井下流动控制的关键装备,能够实现6级流量调节。地面液压控制站对井下液控滑阀进行远程液压控制,可以输出高压小流量的液体。光纤温度压力传感器及分布式光缆可以实时监测井下温度、压力和井筒温度剖面。现场实验结果表明,针对多层段油井,液控型智能完井系统准确实现了不动管柱情况下的分层开采与合采,获取的各项实时监测数据为判断井下工况和优化生产提供了可靠的数据支撑,满足了井下实时测控和多层分采的技术需求。

介绍了压电式微型仿生六足分节机器人的理论设计原理,阐述了适用于该微机器人的动力学模型,研究了该微机器人机身和压电驱动器的加工工艺,并对加工出的压电驱动器进行了测试和分析.把在微机械方面应用极广泛的压电驱动器应用到微型仿生六足分节机器人上,结构简单、新颖,不仅使微型仿生机器人在驱动研究的新领域有所突破,还使其在整体机械结构设计上有所创新.