提出了一种采用低频正弦波励磁方式的电磁流量计的设计方法，并采用新型的信号处理方法使其比传统的信号处理方法更加简便可靠。实验表明：低频正弦波励磁方式在小流速阶段，可以减弱微分干扰的影响，提高流量计零点稳定性和测量准确度。

采用ANSYS软件分析了温度载荷对YDC—Ⅲ89车削测力仪弹性环的热变形影响，得出改变弹性环半径尺寸弹性槽宽度不变；在弹性槽间增加螺钉联接可以减少弹性槽的热变形量。在此基础上提出了改进方案，并采用切削热模拟试验得到了温度载荷对传感器预紧力的影响。改进型测力仪的静态指标达到了CIRP-STCC规定的标准。实际切削结果表明：切削热对测力仪输出信号的影响减小了。

介绍了现有四臂压电式加速度计的工作原理及ANSYS软件在压电式加速度计方面的应用。将传统的四臂压电式加速度的悬臂梁改用沟槽式结构。并使用ANSYS软件进行仿真分析，发现沟槽结构的加速度计的灵敏度可以高达0．6335mV／gn，远高于平坦基体表面结构式加速度计的灵敏度（0．28195mV／gn）。

提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路，其结构设计简洁紧凑，光路布局对称性好，光程差倍增，符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系统精度在理论分析的基础上进行了估算，得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1．8nm。采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测，利用线性回归的方法对测量结果进行处理。试验结果表明：该干涉测量系统的精度约为14nm。

提出了一种新型的非接触电容式小孔孔径测量方法，设计了专用测头，组建了小孔孔径自动测量系统。该系统采用视觉CCD和二维微调整机构，实现了精确的定位。用VC＋＋6．0开发了应用软件，用来控制系统的自动运行，并完成标定、数据采集和数据处理。实验结果表明：此系统分辨率可以达到0．5μm，重复性实验标准差可以达到0．81μm。

为提高谐振式微加速度计的灵敏度和精确度，设计了放大惯性力的柔性微杠杆机构，从理论上分析了微杠杆机构的不对称误差，设计了误差消除机构；经有限元仿真分析证明：所设计的机构能有效减小由不对称误差产生的横向力，有效地消除了放大机构不对称误差对谐振器的影响。分析了形状加工误差对加速度计性能的影响，为制作高灵敏度和高精确度加速度计提供了保障。

对单纯采用硬件实现精确测温难度较大的问题，设计了合适的测温补偿算法用于提高系统测温精度。采用最小二乘拟合的标校方案，实现了测温系统的温度补偿，克服了由于器件准确度不够引入的测温误差。设计巴特沃思数字低通滤波器对温度信... 展开更多

在使用区截装置的测速系统中,为了扩大靶面面积,适用于大口径的高速飞行物体的速度测量,系统采用没有反射装置的光幕做为靶面。通过理论分析了光幕探测距离的影响因素,并通过实验验证系统的实际探测性能,系统在距离镜头1 300 mm处,形成一个半径为400 mm的圆形有效探测区域,面积为0.502m^2。在这个范围内,直径大于等于40 mm的物体通过时都可以被系统检测到。最后对其指标的改进根据不同的影响参数提出相应的解决方案。光幕靶在完成过靶目标探测的同时,简化了机械结构,易于调节,大大缩小了体积,减轻了质量,同时降低了成本,更加方便于野外实际应用。

MEMS流量控制系统中,需要微型化的流量传感器,设计了一种反馈流驱动的微尺度射流流量计。采用数值模拟的方法对微尺度射流流量计进行研究,CFD软件的仿真结果表明：在较宽入口速度范围内该微尺度射流流量计起振快,振荡稳定,切换灵敏,斯特劳哈尔数基本恒定,并且流速测量下限可以达到0.075m/s,在一定程度上为射流流量计的微型化和微尺度射流流量计的设计与优化提供了依据。

设计了一种基于现场可编程门阵列（FPGA）的非介入式高精度超声波流量计，利用FPGA的可编程特性、很高的工作频率及丰富的内部资源设计了包括高速计数器在内的数字信号处理模块，提高了系统的可靠性及测量精度。实验结果表明：超声波流量计测量精度完全达到了设计要求。