介绍了一种量热式质量流量计的原理，并较详细地说明了用于氟化氢质量流量测量流量计的结构、测试与应用。该流量计可用于其它气体质量流量的测量。

氟化氢具有极强的腐蚀性和氧化性，在工业生产中，其流量测量和控制一直是一个难题。论文通过多年的耐腐蚀性试验，选用对氟化氢具有优秀耐腐蚀能力和良好加工性能的蒙乃尔合金作为氟化氢流量计的材质，对内锥流量计进行了技术改进，成功地应用于氟化氢流量的实际生产测量中。这对提高和完善氟化氢流量计的制造技术意义重大。