圆柱度仪系统误差的验证分析及消除
介绍了在使用MMQ400圆柱度仪测量高精度圆柱度时,通过对不同测量方法的测量数据差异对比及分析,验证测量系统误差对测量的影响,并提出消除系统误差的方法。
超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势
综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平;还提出了精密先学抛光的发展趋势.
一种用计量光栅实现2nm测量分辨率的新方法
提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证。
光笔式无导轨三坐标测量系统的研究
提出一种非正交系统(俗称无机械导轨),利用位置敏感探测器PSD交汇成像实现三坐标测量,其测量头为一支带有点光源的笔,故称“光笔式无导轨三坐标测量系统”。文章阐述了该系统的结构设计理论及测量原理。
电磁作动器动态特性对隔振性能的影响
对电磁作动器的动态特性及其对主动隔振系统振动传递率的影响进行了分析研究。振动传递率不仅受作动器动态特性的影响 ,而且还与反馈变量的选取有关 ,这对振动主动控制系统的反馈设计具有指导意义。
基于截尾D-最优的加速度计离心机试验优化设计
为了提高加速度计在离心机试验中的试验效率和加速度计模型系数的辨识精度,针对离心机试验中加速度计高阶误差项的辨识精度问题提出了截尾D-最优设计方案,并与饱和D-最优试验计划进行了对比,结果表明采用本文提出的加速度计离心机试验的截尾D-最优试验计划,能够提高加速度计高阶模型项的辨识精度。
PWM静电伺服技术在电容微加速度计中的应用
根据实际条件,选用了PWM脉宽调制技术作为电容式加速度计静电平衡回路的实现方法。该方法与其他方法相比,更易于实现,而且整体组成也较为简单。
转矩测量仪
简要介绍动态小量程转矩、转速测量的工作原理及结构;对转矩测量仪设计中遇到的关键问题进行了探讨。
基于磁致伸缩传感器的液体密度测量的研究
简要介绍了利用磁致伸缩传感器测量液体密度的原理以及测量系统的组成和应用。利用脉冲回波法测量了声速从而算出液体密度。验证了扭转波在液体中传播速度与液体密度的关系。
几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形排列的微变形镜设计简单,需驱动电压较低,但波前校正性能较差;圆形微变形镜性能最优,但设计复杂,需驱动电压最高。