平面平晶工作面平面度的测量是平面度测量中最重要的测量之一,但目前对于平面平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定却是仁者见仁、众说不一。因为此评定过程需要运用实际测量数据,下面以Φ100mm平面平晶工作面平面度的测量结果为例进行不确定度评定。

对JJG28-2000《平晶检定规程》中以等厚干涉法检定Φ100mm平面平晶工作面平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度。