本文介绍最近几年国外在纳米微米技术的最新发展，以及今后发展的趋势，并介绍一些国外最新成果。

提出将自然循环预冷法与低温热管技术有机结合的设想,综合自然循环和低温热管的优点,可以实现连续、快速冷却,保证被冷却物体的温度波动较小,同时具有自反馈功能.详细介绍了基于自然循环预冷及低温热管的高效低温传热单元的设计及初步试验结果.给出了该低温传热单元在微机械(MEMS)电源开发中的应用实例.

微机械加速度计是近年来才发展起来的一类微机电系统（ＭＥＭＳ）。文中介绍了扭摆式硅微型加速度计的机械结构，工作原理。根据其信号特点，对其测试的关键部分进行了搪塞，并给出了测试结果。在此基础上，对整个加速度计系统的误差来源进行了研讨。

揭示了微机械气流式加速度计的敏感机理。采用有限元方法，分析了在不同加速度输入时敏感元件内的流场分布。结果表明，无加速度输入时，两热敏电阻处的气流速度相等，两热敏电阻上的电流相等，电桥输出为0；有加速度输入时，两热敏电阻处的气流速度之差随加速度变化而变化，引起两热敏电阻上电流之差也随之变化，电桥输出一个对应于加速度的电压。所述的方法为微机械气流式加速度计的结构优化设计提供了简单有效的途径。

为解决微机械中“微碰撞”、“纳米接触”问题 ,建立了纳米接触的刚性球 -面模型。根据 Ham aker三个假设和L ennard- Jones势 ,利用连续方法推导出球同平面第一和第 N层原子之间的作用力表达式 ,仿真出粘着力同原子层之间的关系 ,得出影响纳米接触的主要原子为接触区域少数几层原子的结论 ,从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础

<正> 为了成功地应用微型技术,不仅需要能制成微型结构,还要求能对其操纵和监控。因此微型装配成为一个重要的课题,同样,微型结构及成套微系统的质量控制也是很重要的。

<正> 巴伐利亚激光中心与艾尔兰根·纽伦堡的Friedlich—Alexander大学的教研室合作,共同进行工艺和系统的开发。并在培训与再教育方面承担顾问工作。该中心目前有69名工作人员,其中近一半是科研人员。共有30多台激光器。此外,巴伐利亚激光中心还配合巴伐利亚激光技术研究协会开展工作。该协会得到巴伐利亚研究基金会和工业企业的资助,在经济上紧密合作,在16个项目中,针对5个课题开展了实用定向的基础工作。它们包括微光应用的计划制定,在线编程以及生产技术中的精密加工。除了激光中心的业务部门外,在慕尼

近年来，随着仪器类微型化技术的发展，针对工业和医用领域狭窄的地方作业困难这一问题，研究人员正在研究开发适用的微机械，对此，微机械的微型结构部件研制技术显得非常重要。本文将对微机械部件的加工方法一微研磨技术作以介绍。

对三种典型的铝硅双金属驱动膜片结构进行了有限元分析，结果表明，铝硅双金属驱动膜片的结构参数与驱动膜片的弯曲变形方向，中心最大挠度和有效形变体积具有紧密的联系，通过不同的结构设计可以控制驱动膜片结构的弯曲变形方向，另外，通过结构参数优化，可使驱动膜片的中心最大挠度和有效形变体积达到最大值，驱动膜片的性能得到显著提高。

介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计，利用体硅微机械加工工艺和硅／玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计。为了有效减小低频噪声，在反馈回路里加入了振荡器和解调器。测试结果表明，目前样品的分辨率约为10^-6g/-√Hz，抗冲击能力达到50g。