本文介绍最近几年国外在纳米微米技术的最新发展，以及今后发展的趋势，并介绍一些国外最新成果。

柔性铰链以其特殊的性能在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用.通过对柔性铰链在支撑结构、联接结构、调整机构和测量仪器中的应用,以及柔性铰链与压电致动结合实现超精密位移和定位的典型例子,对柔性铰链的应用作了较全面的介绍.

阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .