综述了国内外微机械产品在军事、医疗、航空航天等各领域应用的最新进展；分析了微细切削加工、LIGA技术、准LIGA技术、刻蚀技术及微细特种加工的工艺原理及特点。最后对微机械产品及其加工方法的新前景进行了展望。

由于微机械制造具有加工尺寸小、成型分辨率要求高等特点,微机械的快速成型微细加工工艺存在着不同于通用快速成型工艺的特殊问题及关键技术.该文对微机械光成型微细加工工艺和系统构成等进行了研究,制作了国内第一台微机械光成型实验系统,并加工出微曲柄等微零件,探索了快速成型微细加工技术制造微机械的新路子.最后提出了微机械快速成型微细加工的几个研究方向.

精密机械和特种加工机械的部分构件需要特殊的物理化学特性,花岗石是制造这些构件的理想材料.本文详细介绍了花岗石的物理和化学特性以及用它作为机械构件的主要特点,列举了花岗石在机械设备及仪器中的应用情况,阐述了花岗石构件设计时的注意事项,最后给出了微细特种加工机床上一个典型构件的设计实例.

微细加工技术是随着微机电系统（MEMS）技术的发展而被广泛接受的一种在微小尺度内实现功能、信息集成化的生产加工技术.文中阐述近年来国内外微细加工的发展动向及开发的一些新加工技术，详细介绍了基于超精密加工、硅微加工、LIGA加工、原子力显微镜加工及微，纳压印加工技术等微细加工技术，探讨了各种加工技术的优越性、适用性及可靠性并提出展望。

介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺.对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法.加工过程中采用分步加工的办法控制蚀刻时间,成功的释放了宽6 μm,厚60 μm,等效长度达5 470 μm的悬臂梁型微夹持臂.研制出一种良好性能的具有S形柔性结构夹持臂的梳状静电致动微夹持器.

介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果.

阐述微型机械电子系统的概念与内涵,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势,为今后深入研究该领域的课题提供了依据 .

对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述,并且应用现有的高精度现代化测试设备,对超精密加工的硅、锗、玻璃、硬质合金、铝等材料的几种性能进行了实验研究,证明了这些手段和评价方法的可行性.

文摘分析旋转超声加工材料去除机理,建立材料去除效率模型,探讨工艺参数对加工效率的影响规律;对压电陶瓷、有机玻璃、玻璃钢、紫铜等多种材料,进行单一超声和旋转超声加工材料去除效率对比试验,研究旋转超声加工方式对加工过程稳定性及加工效率的影响。结果表明：旋转超声加工可在保持原超声加工精度基础上,显著提高材料加工效率,且对较难超声加工材料（如有机玻璃）,旋转超声提高其加工效率的效果更为显著。

微细切削加工制造是复杂结构特征微加工的研究趋势，其在航空航天、医疗等精密加工领域有着广泛的应用前景。为加深对于微细铣削加工机理及微细切削加工过程中可能存在的影响制造件质量因素的研究，依据课题研究需求针对多孔钛合金材料进行微细切削加工实验，实验使用单因素控制法对不同加工的因素调整获得对应实验数据。深入理解微细铣削加工机理的本质，采用二次回归法研究各因素变化对切削力和温度的影响，从而总结出在微细切削加工过程中各切削参数对切削力和温度的影响，旨在为微细加工时各因数加工控制提出指导。