微细加工技术是随着微机电系统（MEMS）技术的发展而被广泛接受的一种在微小尺度内实现功能、信息集成化的生产加工技术.文中阐述近年来国内外微细加工的发展动向及开发的一些新加工技术，详细介绍了基于超精密加工、硅微加工、LIGA加工、原子力显微镜加工及微，纳压印加工技术等微细加工技术，探讨了各种加工技术的优越性、适用性及可靠性并提出展望。

介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺.对微夹持器制作中的关键工艺进行分析,重点分析ICP蚀刻工艺的蚀刻时间对结构的影响,总结导致器件失效的原因,探讨了减少失效的方法.加工过程中采用分步加工的办法控制蚀刻时间,成功的释放了宽6 μm,厚60 μm,等效长度达5 470 μm的悬臂梁型微夹持臂.研制出一种良好性能的具有S形柔性结构夹持臂的梳状静电致动微夹持器.