介绍了使用原子力显微镜在电场作用下诱导表面局部阳极氧化反应的机理，分析了偏置电压、氧化物厚度对氧化物生长速度的影响，以及湿度和电压对氧化物的尺寸的影响，指出了现阶段AFM纳米加工技术的不足，并对未来的AFM纳米加工技术进行了展望。

对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述.介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用.指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化.只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展.

讨论了纳米加工与常规精加工的区别,介绍了纳米加工的关键技术及其在微型机械和微型机电系统的应用.

商业化和大多数自制SPM开发和研制的目的卞要是获得表自的信息，要想使适合扫描探针加土的要求，必须对其进行一些必要的改进。木文讨论在DI公司多功能SPM基础上开发的纳米加土系统。

碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比.文中提出了一套制备碳纳米管探针的热丝化学气相沉积(HF-CVD)装置,叙述了HF-CVD的原理、装置以及在纳米加工上的应用.

对现有的商业化SPM进行了一些必要的改造,使其适合于扫描探针加工的要求.讨论了在DI公司多功能SPM基础上开发纳米加工系统的可能性,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法,实现了矢量式的纳米氧化加工,得到了30nm宽的氧化结构,为下一步进行纳米电子器件的构建奠定了基础.

对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述,并且应用现有的高精度现代化测试设备,对超精密加工的硅、锗、玻璃、硬质合金、铝等材料的几种性能进行了实验研究,证明了这些手段和评价方法的可行性.

用金作ＳＴＭ针尖，通过一个窄脉冲电压（－４Ｖ，－３００ｎｓ），可在原子平埋的Ａｕ表面稳定观察到原子堆的形成。用这种方法我们成功地进行了纳米书写。实验表明原子堆的形成存在的一个很陡的阈值电场，而且正负电压脉冲皆可形成原子堆，我们初认为它是一个场离子蒸发过程。