介绍了一种生化物质分析系统的原理与实现.该系统通过电泳原理,对微管道内生化物质进行高压分离和激光诱导荧光光学检测,从而实现对生化物质的成分分析.实验结果表明,系统重复性好、准确度高,可快速有效地检测到生化物质成分.

介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法.利用该方法,实现了怂标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试.测试结果表明EPW体硅腐蚀形成的梁-质量块系统中梁与质量块上存在40～160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些.

介绍了一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的阵列微喷的加工和实验结果。利用微细加工技术，在硅片上制作了上千个直径够5～20μm的微喷孔阵列。该微喷以压电效应为驱动方式，通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出。具有所产生的液滴直径和速度分布集中，无热效应的特点。采用激光相位-多普勒粒子分析（PDPA）系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究。

提出一种基于双壁碳纳米管（CNTs）宏观体的新型热线流速探针,该探针采用微加工技术组装热敏感元件并通过在接触区电沉积镍颗粒提高敏感结构的稳定性。作为热线元件的CNTs有比铂丝更高的电阻温度系数,温度为293～393K时,其电阻温度系数从0.3727%/°C逐渐增加至0.5601%/°C。根据热平衡原理,通过恒流模式测量同一个探针在不同流场中输出电压的变化来计算电阻的变化,从而得到流速的大小。实验表明,该CNTs流速探针的灵敏度比传统的热线流速计高,重复性好,作为热线敏感材料是可行的。

柔性铰链作为无摩擦的支点有着成千上万的应用 ,以力学的基本公式和微积分为基础 ,给出了一般柔性铰链转动刚度计算公式的推导过程。在此基础上 ,得出了常用的直圆柔性铰链的设计计算公式 ,计算公式是精确的推导结果 ,且在表达上较迄今沿用的 Paros给出的柔性铰链精确设计计算公式来得简洁 ,有利于柔性铰链及其机构的计算和分析。当直圆柔性铰链的切割半径与最小厚度相当时 ,Paros给出的简化公式存在一定的误差 ,这里的计算公式尤其适用于该类直圆柔性铰链。

针对常用的直圆柔性铰链进行力学分析,与迄令一直沿用由J.M.PAROS给出的柔性铰链绕z轴的转动刚度(柔度)计算公式相比,提出了更为简洁、精确的转动刚度计算公式,使其有利于柔性铰链的设计和分析。对直圆柔性铰链所能承受的最大力矩和最大角位移进行了分析,给出了它们在不考虑应力集中影响下的计算公式。讨论了直圆柔性铰链各个参数对其性能的影响。为柔性铰链在精密定位系统中的应用提供了一定的理论基础。

柔性铰链以其特殊的性能在精密机械、精密测量、微米技术和纳米技术等领域得到广泛应用.通过对柔性铰链在支撑结构、联接结构、调整机构和测量仪器中的应用,以及柔性铰链与压电致动结合实现超精密位移和定位的典型例子,对柔性铰链的应用作了较全面的介绍.

仪器仪表是对信息进行测量与控制的基础手段和设备,是现代社会不可缺少的部分。仪器仪表工业是一个国家科技发展水平的标志,也是现代化的综合因素之一。现代仪器仪表的发展有许多新的特点,值得研究归纳。

作为一种重要的非注射给药途径,雾化吸入治疗方法具有起效快,药物毒、副作用小等特点,因此被越来越广泛地采用。基于压电驱动喷墨打印机工作基本原理,利用微机械加工技术,研制了一种压电驱动微喷雾化器。流量、雾粒的直径和速度是微喷雾化器的重要指标,文中采用相关的仪器分别对这些指标进行了测试。由测试结果可知,微喷雾化器产生的雾粒的直径和速度分布集中,且雾粒直径和速度比较适合于雾化吸入治疗,可能成为一种重要的雾化吸入治疗装置。

微型飞行器是应用MEMS技术的一种智能微系统,针对微型飞行器的要求,利用微型螺旋桨带动编码盘,采用单片机解码,研制了一种微型空速计,并制作了其演示系统.