基于压电和精密驱动技术，利用压电叠堆作为驱动器，结合柔性铰链位移放大机构设计了流体泵样机，进行了试验研究。分析了压电叠堆TokinAE0505D16的滞环特性，从理论上研究了该压电叠堆的刚度特性和快速响应特性。设计制造了用于位移放大的柔性铰链放大机构，对柔性铰链放大机构扭转变形和转角刚度的影响因素进行了理论分析，确定了所设计的柔性铰链放大机构各结构参数；测试了柔性铰链放大机构在不同电源激励下的动态响应、幅频特性、迟滞特性、输出力与输出位移特性，得出了影响放大机构放大倍数和输出特性的因素。利用有限元分析软件对放大机构进行了分析，进一步验证了放大机构的可行性和安全性。通过改变试验参数（电压、频率），对压电叠堆泵样机进行了实验研究，分析了输入电压、输入频率对泵输出流量和输出压力的影...

针对传统的电液伺服阀分辨率较低、工作频带较窄及易受电磁干扰的特点,研制了一种由压电伸缩陶瓷驱动的新型驱动器,并对驱动机构的输出位移进行了测试.测试结果表明:该驱动器具有较大输出位移及较高的位移分辨率,可提高伺服阀的相关性能.

研制了一种新型的直动式电液伺服阀,伺服阀的驱动器由压电元件实现.该伺服阀采用电反馈原理,利用位移传感器将位置信号反馈给伺服放大器,与伺服阀的压电驱动器形成一个闭环位置系统,提高了伺服阀的动静态性能.该文对伺服阀样机的静态特性进行了测试,分析了特性曲线上所表征的性能指标及其影响因素;依据实验曲线获得静态特性参数,与北京机床研究所生产的QDY-D40型电磁驱动直动式电液伺服阀进行比较,指出了该阀的优点和不足,并提出改进方法.

研究了一种基于双压电晶片的喷嘴挡板式伺服阀,给出了双压电晶片的喷嘴挡板式伺服阀的基本机构.对双压电晶片在不同频率、介质、基板尺寸及晶片厚度下的变形情况进行了深入的分析,并通过试验初步验证了双压电晶片喷嘴挡板式伺服阀的相关性能,给出了流量、压力特性曲线,对试验结果进行了分析,得出了相关的结论.

介绍了一种利用压电陶瓷直接驱动的压电伺服阀，其机械结构简单、抗干扰能力强，具有高于传统电磁式伺服阀的频宽和分辨率。应用有限元法分析了柔性铰链的结构特性，对压电叠堆的静、动态特性进行了理论分析，并制造了压电直接驱动式伺服阀样机，进行了静、动态性能测试。测试结果表明：该压电伺服阀可以满足现代精密高速控制系统的需要。

压电叠堆具有响应快、分辨率高、输出力大以及输出位移较大等优点。利用压电叠堆作为驱动器，结合柔性铰链位移放大机构设计了流体泵样机。对压电叠堆泵样机进行了实验研究，分析了对泵输出性能和压力性能的影响因素，证明压电叠堆泵输出压力大，性能稳定。

分析了单通道平板电流变阀的机理并给出了电流变阀的进出口压力差的理论公式;设计了小型平板状单通道电流阀的样机并根据各种性能选用了合适的材料;通过有限元结构分析证明了样机结构的合理性;对电流变阀在定流量下进行了压力差与输入电压的影响实验给出了实验曲线。

研究了电液伺服阀用压电型电-机械转换器的驱动特性,分析计算了其输出力和输出位移.对驱动阀芯所需的驱动力进行了计算,在此基础上选择了转换器的驱动元件及放大环节的相关参数.对转换器的输出力特性及输出位移特性进行了测试,建立了二者之间的关系曲线.

提出一种利用压电陶瓷片直接驱动的伺服阀，分析了双压电晶片的静、动态特性，制造了双晶片直接驱动式伺服阀样机。该伺服阀具有高于传统电磁式伺服阀的频宽与分辨率，它的机械结构简单，抗干扰能力强。

给出了双压电晶片驱动喷嘴挡板式伺服阀的基本结构,分析了双压电晶片的频率特性和静态位移特性,针对不同基板尺寸和晶片厚度进行了静态测试,在伺服阀实验台上进行了初步验证.试验结果表明:双压电晶片驱动喷嘴挡板式伺服阀具有结构简单、响应快、分辨率高、无电磁干扰、易于控制的优点,可以满足现代精密高速控制系统的需要.