基于压电和精密驱动技术，利用压电叠堆作为驱动器，结合柔性铰链位移放大机构设计了流体泵样机，进行了试验研究。分析了压电叠堆TokinAE0505D16的滞环特性，从理论上研究了该压电叠堆的刚度特性和快速响应特性。设计制造了用于位移放大的柔性铰链放大机构，对柔性铰链放大机构扭转变形和转角刚度的影响因素进行了理论分析，确定了所设计的柔性铰链放大机构各结构参数；测试了柔性铰链放大机构在不同电源激励下的动态响应、幅频特性、迟滞特性、输出力与输出位移特性，得出了影响放大机构放大倍数和输出特性的因素。利用有限元分析软件对放大机构进行了分析，进一步验证了放大机构的可行性和安全性。通过改变试验参数（电压、频率），对压电叠堆泵样机进行了实验研究，分析了输入电压、输入频率对泵输出流量和输出压力的影响程

压电叠堆具有响应快、分辨率高、输出力大以及输出位移较大等优点。利用压电叠堆作为驱动器，结合柔性铰链位移放大机构设计了流体泵样机。对压电叠堆泵样机进行了实验研究，分析了对泵输出性能和压力性能的影响因素，证明压电叠堆泵输出压力大，性能稳定。

近年来,基于压电陶瓷驱动的微小型液压泵逐渐开始受到广泛的关注和研究.由于体积重量小、结构简单、能耗低、无电磁干扰等优点,压电泵已经在航空航天、微机电系统等工程领域得到越来越多的应用.主要对国内外压电泵相关的研究进行了概述.首先对压电材料物理特性进行了简要说明,重点介绍了压电泵工作原理、研究意义及当前国内外的研究现状.最后对压电泵的关键技术进行总结,并提出今后的研究方向.