介绍了驻极体电容式传声器的工作原理,针对声传感器输出的微弱声信号,及传感器接收的信号幅度强弱相差较大的情况,设计了基于自动增益控制的声信号处理电路;该自动增益控制法使放大电路的增益能够根据输入信号的大小在较大的范围内进行调节,从而保证了声传感器输出信号的信噪比,通过实验验证和分析,证明此处理电路的可行性、实用性和优越性。

以压阻式微加速度计为研究对象，定量研究了环境温度对其灵敏度的影响。理论研究结果表明，压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度偏差绝对值的增大而增大；其中灵敏度误差在温度偏差为＋20℃时达到-4．943%，在温度偏差为-20℃时达到4．982％。设计了压阻式微加速度计压敏电阻的温度特性测试系统，测试结果表明，在温度偏差为＋20℃时，灵敏度误差为-4．303％，温度偏差为-20℃时，实验值为4．251％。理论计算值与实验测试值相吻合。

介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器,详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法,利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结构进行了模态分析,采用振动台标定与低频校准装置测试相结合的方法对水听器进行测试,并给出了检测单元的加速度频响特性曲线和声压灵敏度曲线,以及矢量水听器在水下测试的接收灵敏度曲线和指向性图的测试结果。通过此实验方法,不仅验证了该矢量水听器设计的合理性,而且验证了它适用于低频检测,应用于水声探测具有一定的可行性。实验证明,该矢量水听器的接收灵敏度在500Hz时达到-189.6dB（0dB=1V/μPa）,并具有良好的“8”字形的指向性。

利用金属-半导体结型场效应晶体管（MESFET）作为微加速度计的敏感单元,设计一种4梁-质量块微加速度计结构.通过ANSYS分析软件进行仿真,敏感单位放置于悬臂梁根部的应力最大处,以获得最大的灵敏度.将封装好的微加速度计结构,利用惠斯通电桥测试电路,检测不同载荷下的输出特性,验证了微加速度计的力电耦合效应.测试结果表明,该微加速度计的线性度较好,其最大加载范围可达到24 g,且饱和区的灵敏度可达到4.5 mV/g,为高灵敏微传感器的研究奠定了一定的基础.

讨论单片集成加速度计陀螺的结构及其工作原理, 并对单结构加速度计陀螺的加速度信号和陀螺信号的分离进行了阐述. 在以往的微型惯性测量组合中, 加速度计和陀螺是分离的, 这样将产生较大的轴间耦合误差. 设计了双质量块振动系统, 利用一个敏感头同时测量加速度和陀螺信号. 在此基础上讨论了陀螺的驱动电路与信号检测电路.

在硅微机械加工中,封装加工是非常重要的一个过程,对微机械器件实现真空封装后可以极大的提高它的灵敏度等各项技术指标,但目前国内对微机械传感器真空封装技术不成熟.本文主要讲述对陀螺采用玻璃封装时,用于封装的玻璃罩子的加工过程以及玻璃罩子在整个结构中所起的作用,同时叙述了玻璃罩子与微机械结构的键合过程.

在介绍微型惯性测量装置工作原理的基础上详细阐述了系统件的软硬实现过程并通过转台试验验证了利用其进行导航计算的正确性和有效性.

针对室内空气污染源的多样性与传统气体检测器检测种类的单一性的矛盾,设计了一种能够同时检测多种气体的新型便携式光离子化气体检测仪。该检测仪采用了MEMS结构的离子化室和混合信号级微处理器C8051F040,减小了仪器体积,降低了仪器功耗。利用单片机控制电流跨导增益的方法,实现了仪器的双量程数据采集功能,保证了仪器在两个量程的测量时均具有较好的检测精度。该仪器适用范围广,自动化程度高,实际应用效果良好。

为获取齿轮泵泵体在铝合金和球墨铸铁两种不同材料下受温度和压力的不同而造成的泵体的变形，以温度和压力变化作为外负载，对泵体进行了有限元仿真分析，得到了泵体的最大变形量，等效应力以及最大变形区域。进而得到温度和压力的变化对泵体的变形影响是不可忽视的。仿真结果为齿轮泵的结构设计提供了一定的参考。

根据新型多路高低压微抛射系统的结构特点采用经典弹道理论建立了高低压发射方式的内外弹道数学模型从理论上对新型高低压微抛射系统的结构设计的合理性进行了数值分析。对高低压发射系统的膛压及弹丸发射初速进行了测试。试验结果表明所建立的多路高低压微抛射系统的分析方法和设计方法合理、可靠。