为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求，提高微位移器位移量的测量精度，在对传统的接触式干涉仪改造的基础上，采用空间频域算法计算出了白光干涉图零级条纹的中心位置，并根据零级条纹中心的移动量得到待测的微位移量。该方法能够测量连续和阶跃变化的位移量。实验以压电陶瓷微位移装置（PZT）为例，测试了其电压-位移曲线，测量重复性达到1nm。结果表明，该方案稳定有效，不易受噪声和色散的影响，测量重复性好。

接触式干涉仪是应用光波干涉原理，对微小位移进行测量的精密仪器。采用比较法，即将被测量与标准量相比较从而测得其差值的方法，其可用于检定长度不大于150mm的量块和其他工件的精密测量。仪器读数窗中刻度尺刻度范围为±50分度，刻度尺的分度值（可调）推荐采用的为0．05μm、0．1μm、0．21μm三种。

接触式干涉仪又名乌式干涉仪，它是检定100mm以下3等、4等量块时主要设备之一，接触式干涉仪一般配有球筋工作台和五筋工作台。在检定时分别用于检定2mm以下和2-100mm量块的长度及变动量。标称长度L≤2.5mm的量块在自由状态下其平面度公差如表1所示，因此国家计量检定规程“接触式干涉仪”中要求，

介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法。改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据，由计算机直接输出测量报告；减少了人为的读数误差和对线误差，具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点。

利用CCD（charge-coupleddevice）对立式接触式干涉仪进行改装研制，变目视观察与判读读数为光电探测、自动瞄准、测量，把显微镜下的干涉条纹图像利用CCD采集后传输到计算机．结合数字图像处理技术，利用波长定度方法实现自动定度，双边直线拟合法自动确定0级干涉条纹中心的准确位置，并根据量块形成的0级干涉条纹中心偏移像素值计算量块长度．实验测试结果表明利用数字图像处理技术消除了人为判读差错的可能性，提高了工作效率，稳定可靠．

文章分析论证了利用满足规程要求的接触式干涉仪可以替代电感测微仪作为主要标准器,对机械式千分表检定仪的示值误差进行校准;并对其测量结果进行不确定度评定及验证。实践表明,该方法稳定可靠,实用有效,并已投入实际应用。

新量块检定规程(JJG 146-94),提高了各等级量块的测量不确定度要求,传统的目视测量方法在测试精度和效率上已经不适应实际需求.本文将对一、二等量块直接测量技术和用于三、四等量块的接触式干涉仪测量自动化技术作一介绍.

目前,大多数省级计量部门用于省内长度量块最高标准传递所使用的接触式干涉仪,均是六、七十年代设计生产的产品,存在诸多缺陷。本文介绍一种在稳定的机械结构基础上,用LM20测头代替原干涉仪测头,利用Delphi开发控制界面,建立控制箱和计算机的通信机制,从而控制测头上下移动,能智能化读取干涉仪数据并具有良好稳定性的量块检定方法。

本文以新规程为依据,对三等量块在接触式干涉仪上检定中心长度校准结果的不确定度分析、评定.