根据压阻传感原理设计了GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管（high electron mobility transistor,HEMT）器件与Si基悬臂梁-质量块结构集成的微加速度。通过ANSYS结构应力仿真,GaN基HEMT作为敏感单元置于微悬臂梁结构根部的应力最大处。同时对微加速度计的关键研制工艺进行了设计和研究,成功制备出具有力电耦合特性的传感结构。并且测试了微结构在静态0～10g的惯性测试,结果表明GaN基HEMT器件具备明显的力电耦合效应,该微加速度计的灵敏度为0.24 mA/g,线性度为12.4%,适合研制高灵敏度的微加速度计。

针对高帧频摄像机灵敏度较低与无法远程实时传输的难题，本文采用EMCCD器件提高其灵敏度，并利用光纤通信与USB技术实现高帧频图像的远程实时传输与记录。文章详细介绍了基于EMCCD器件CCD60建立相机的一种方法。利用CPLD器件产生EMCCD控制时序及视频同步处理控制时序，采用集成器件与分立器件相结合的方式建立EMCCD垂直驱动电路，建立EMCCD工作环境；然后，采用具有CDS功能的集成器件对CCD视频信号进行数字化，获得高帧频数字图像数据；再使用CPLD器件与光传输编解码芯片结合的方式实现高速图像数据的远程实时传输，最后采用USB2．0技术实现高速数据的实时采集。系统像素分辨率128-128，最高帧频可达1000fps，能应用于低照度高速图像获取场合。

科创微型热导检测器采用经典电桥原理。和通用热导检测器相比,具有以下特点：a）更小的池体积（小于100μL）;b）更高的元件阻值（最大200Ω）;c）灵敏度高;d）可与毛细管柱联用。主要用于高纯气体分析。

介绍一种高速转镜干涉光谱仪原理，提出一种基于该原理的干涉成像光谱仪，该成像光谱仪有较大视场角，提高了扫描效率，特点是用带有倾角平面反射镜转动代替传统Michelson干涉成像光谱仪动镜的直线运动，解决了Michelson干涉成像光谱仪扫描效率低和不稳定的难题。

介绍了一种基于单片机设计的小型高灵敏度γ剂量率监测仪，可对γ射线剂量率进行连续监测的同时，根据具体环境情况采用有线、无线两种通讯方式将监测数据发送给主机。仪器有交流和电池两种供电方式，可根据现场情况选用。文章详细介绍了仪器的系统结构，软、硬件各部分的设计思路和实现技术。经过应用实验表明，仪器的性能指标为：测量范围0．01μSv／h～20μSv／h，7射线的灵敏度为900cps／μSv·h^-1，死时间小于200gs，稳定性误差小于士10％。

基于谐振敏感原理，设计了硅微谐振陀螺，它具有直接的准数字式频率输出、高灵敏度、参数设计灵活等优点，其结构包括质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、双端固支音叉（DETF）、激励和检测梳齿。内外质量块结构和杠杆机构特殊设计可以实现结构解耦；质量块外置、杠杆放大结构及双DETF结构可以改善结构灵敏度。模态分析和谐响应通过ANSYS进行，公式运算和参数优化通过MATLAB实现。从仿真结果可以看出，陀螺的灵敏度值为75mHz／（deg／s），且实现了自解耦。

主要介绍压电石英晶体的原理,在液体中振荡的特性,并论述了一套石英微天平QCM(quartz crystalmicrobalance)测试系统的研制.系统具有高灵敏度、反应速度快、重复性好、操作简单方便的优点.并给出了在诸如肿瘤预测等重要临床诊断中的应用前景.

为保证高压压力系统的安全运行，给出一种高灵敏度42MPa空压机用安全阀的设计实例。介绍了其技术参数确定、结构和性能设计的方法，探讨了高灵敏度42MPa空压机用安全阀设计时应注意的问题，并给出相应对策。试验结果表明该安全阀灵敏、可靠。