随着精密和超精密加工技术的迅速发展，亚微米和纳米级的测量方法不断出现，本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。

1 对角线尺寸的量值传递系统 调心滚子轴承内圈对角线尺寸(以下简称对角线尺寸)是指内圈的轴向截面内,上、下滚道异侧曲率中心的连线与沟道相交点之间的距离.由该轴承的结构设计可知,对角线尺寸是该轴承配合的主要尺寸.它的准确与否直接影响轴承的合套及回转调心性等性能,因此对角线尺寸的准确传递就显得尤为重要.

讨论利用线阵ＣＣＤ图象测量方法。配备Ｚ、Ｙ二维运动工作台及绕Ｚ轴回转数显工作台，地异形回转体三轮轮廓尺寸进行检测。用Ｍａｒｒ边缘检测算子对ＣＣＤ获得的原始灰度图像进行处理，采用最小二乘法完成曲线拟合，获得亚象元分辩率。对Φ２００ｍｍ异形回转体零件进行尺寸测量，测量系统精度达到μｍ级，并给出了试验结果。

RDMS激光测径仪是专门用于棒、线、管材的在线非接触实时测量.采用"真实形状"测量技术,测量不同的形状,为棒、线、管材工厂提高产品质量和自动化控制水平创造有利的条件.提供1μm的分辨率和最高达120 m/s的轧制速度下的在线测量.

针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。

针对传统轴承测量方法成本高、效率低、精度低等问题,提出基于机器视觉卡尺工具法的轴承测量方案。该方案首先使用相机对轴承进行拍照取像,再用卡尺工具法对图像中轴承的内外径进行圆拟合。对相机标定后,测量出轴承的内外直径,并编写C#程序实时显示测量结果,实现对轴承尺寸快速、稳定、高精度、低成本的测量。实验结果表明:该测量方法达到了亚像素级别,测量精度高于0.008 mm,标准差小于0.015,满足国家标准,并且测量速度快,稳定性高。

影像测量仪在工业测量等领域中，尤其是精密平面类零件的高精度测量方面具有广泛的应用。目前，影像测量仪进行二维尺寸测量时主要采用LED背光源作为照明条件，光源强度的变化会引起图像边缘轮廓内缩或外扩，从而影响测量精度。文章以通用的影像测量仪为实验平台，在实验室条件下分别研究背光源强度对边缘位置的影响以及不同直径的标准圆测量精度的影响。实验结果表明，随光源强度的增强边缘位置发生内缩，测量误差逐渐增大，最大可达13μm。最后，提出一种误差补偿方法对测量误差进行补偿，实验证明该方法可以有效提高测量精度，使测量误差减小到0~3μm。

能发出控制信号的气动量仪叫做气动尺寸测量传感器,它被广泛地用在自动测量领域里。对在动态下工作的气动传感器,要求它有良好的动态特性:能适应自动化生产的快速性和准确地测出各种转速下被测工件的真实尺寸。气动传感器有较大的惰性,这使它的动态特性不易提高。为充分利用气动传感器的优点,克服其缺点,各国都很重视气动传感器的动态特性的研究。动态特性测定技术是特性研究的手段,又是气动传感器产品动态特性指标获得的来源。