在介绍激光干涉仪的工作原理后，并用激光干涉仪对测量仪工作平台进行了误差检测。运用分段插补数学模型进行定位精度的补偿，得出了2组的实验数据，误差产生的原因以及证实了补偿的有效性。

平面度是评定产品质量的指标之一。随着测量技术的不断进步,影像测量仪被广泛应用于平面度的测量。采用最小二乘法的算法原理,编写平面度误差评定程序并将其嵌入影像测量仪软件中,对影像测量仪自动测量的数据进行处理。实验结果表明：该算法能够快速评定平面度误差,在生产实际应用中效果较好。

给出了手摇式影像测量仪工作台数字化改造总体方案，介绍了基于PC和运动控制卡的位置伺服控制系统开发流程；通过实验确定了电机PID参数，使系统具有较好的稳定性和精度；为了提高仪器的性能，实现了系统零点标定以及初始化速度的优化。

对影像测量仪示值误差原因及种类进行探讨，并就其所产生的线性误差修正介绍两种简单的修正方法——两端点连线法与最小二乘法；通过典型示例，详细阐述运用两种修正方法列仪器是否可调进行预判断的操作步骤，并比较分析两者的优劣性。

针对轴承套圈小尺寸密封槽存在无法使用精密仪器直接测量的问题,提出使用复制胶泥结合影像测量仪对密封槽尺寸进行测量的方法。根据实际使用及测量数据表明该方法无需考虑密封槽尺寸及结构的影响,能够准确测量密封槽尺寸,提高加工质量及效率。

影像测量仪在工业测量等领域中，尤其是精密平面类零件的高精度测量方面具有广泛的应用。目前，影像测量仪进行二维尺寸测量时主要采用LED背光源作为照明条件，光源强度的变化会引起图像边缘轮廓内缩或外扩，从而影响测量精度。文章以通用的影像测量仪为实验平台，在实验室条件下分别研究背光源强度对边缘位置的影响以及不同直径的标准圆测量精度的影响。实验结果表明，随光源强度的增强边缘位置发生内缩，测量误差逐渐增大，最大可达13μm。最后，提出一种误差补偿方法对测量误差进行补偿，实验证明该方法可以有效提高测量精度，使测量误差减小到0~3μm。