应用计算机技术,对圆计量光栅刻划过程的自动控制进行研究,介绍了微机控制细分刻划的原理和该智能控制系统的结构。并且叙述了多种任意等分光栅盘的刻划方法。

温升是引起微动台精度和环境变化的重要因素,从热特性分析着手进行微动台优化设计是提高微动台性能的一条重要途径。论文提出了一种新型纳米精度六自由度微动台结构,给出了微动台的发热热源、定子线圈等效导热系数和自然对流及强制水冷条件下表面散热系数,建立了微动台三维温度场的数学模型。根据热传导理论,完成了微动台定子线圈稳态温度场的理论计算,并采用数值方法计算了微动台在自然对流和强制水冷条件下的三维温度场分布。根据计算和分析结果,完成了微动台冷却系统的设计。结果表明,采用强制水冷后,微动台动子温升不超过1℃,满足微动台工程设计要求。

<正> 现在,绝大多数光学系统依靠反射或折射元件来实现某些功能。有资料表明,衍射光学元件(DOE’s)在特定应用中具有某些优点。有各种制备DOE’s的技术,如金刚石切削技术可以把各种红外材料、金属或塑料制成衍射表面。还有一种金刚石工具可用来直接在衬底材料上切削出衍射表面的凸凹纹。金刚石切削一般用在反射金属表面或红外材料(如锗)上。也有可能用金刚石加工应用于注模塑料法中的母版元件。金刚石切削技术能制备具有高衍射效率的衍射表面。用该技术获得最佳衍射效率的关键在于如何将金刚石工具顶端雕刻成所希望的形状。这一技术的主要缺点是加工工具成本过高,而且难以将其用在一些光学材料

为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度，建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构，采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差，应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程。进一步分析了光刻机的运动误差链，推导了光刻机运动通用误差模型。以某光刻机精密工作台为例进行误差建模与分析，该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考。

为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台电磁力-位移特性进行了分析。采用数值方法计算了微动台电磁单元绕组损耗引起的温升。结果表明：该微动台具有驱动力大、结构简单、散热方便等优点,可为我国自主产权光刻机微动台设计提供参考。

近年来．各种烟酒以及身份证、驾驶证、护照等假冒伪劣产品越来越多，已经严重危害到人类的健康和正常生活，为此防伪技术显得尤其重要，光刻杌主要用于这些产品的技术防伪。该文介绍了光刻机控制系统的结构与原理，以及软硬件设计。系统采用了将可编程运动控制器（PMAC）与工控机相结合，即PC＋PMAC的上下机模式。同时也运用了将运动程序与PLC程序相结合的方法，得到了预期的效果。该系统已投入实际应用，收到良好的经济效益．