对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面形信息。利用GLAD软件进行仿真,模拟了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图,并利用相位展开方法,读入干涉图样,进行工件的面形重构,获得了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后的工件面形,分析了重构面形失真的原因。

多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.通过优化设计,入射角为45°,在1285～1345 nm之间p,s波获得了270°±0.15°的相移和99.5%以上的反射率.对使用的膜系进行了每层光学厚度的误差分析.用离子束溅射技术制备相位延迟膜,在大气中对样品进行不同温度的退火,用分光光度计测试了光谱特性和用椭偏仪测试了相位特性.结果表明,未退火的样品在相应波段获得了267.5°±O.5°的相移和99.6%以上的反射率;根据拟合分析,最外层的误差和折射率与设计值的偏差是发生相移偏小的主要因素;随着退火温度的升高、折射率变小和物理厚度变大,相移将变小.

由M—Z干涉仪组成自准直干涉装置是一种抗干扰很强的干涉法测光纤非线性科尔系数γ的装置。由于测试脉冲强度受光纤的衰减和耦合器的分流，输入段和输出段脉冲强度不一样，势必要引入系统相移扰动，造成测试相移并非完全是测试光纤SPM效应引入的相移，对准确测量光纤非线性科尔系数γ值形成误差。理论分析了这种扰动的形成机理，引入扰动相移误差量。模拟分析了影响相移误差量的参数，优化这些参数，并且找到最优参数值，使相移误差量最小，且不受输入脉冲强度变化的影响。大大地改善了该系统的性能。最后试验测试了SMF光纤，和已有测试方法比较，波动范围明显减小。

本文建立了一套相移激光数字散斑干涉自动测量系统，运用一系列的图象处理方法，实现了高精度的自动测量，显著地提高了数字散斑干涉计量技术的可靠性、实用性及自动化程度。该计量系统被应用于变形、振动等参数的测量中，取得了较为理想的结果。

在光栅投影测量的相位计算中,采用Gray编码和相移相结合的方法,并针对当前光栅投影测量中相位计算精度不高的问题,提出一种新的相移方法.与传统相移方法相比,该方法采用新的投影光栅光强函数.考虑到光栅投影测量中可能出现的标定误差、投影光非正弦模式以及其他干扰因素,在该函数中加入对这些干扰的纠正值,从而减少由这些干扰产生的不利影响,进一步提高投影光栅和对象测量的精度.通过对邻近点插值获得的投影光栅,条纹精度可以达到亚像素级.对实际测量获得的投影光栅图像的处理实验,证明了该方法的可行性和先进性.

采用正弦光栅调制参考光对物体各个状态进行记录，在再现检测设计了一种偏振片编码两束重现参考光，两个通道的探测系统，对全息图的再现实了两个采集值的同时记录，因而实现了动态测量以及三维测量。

为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.

采用π网络零相位法测量石英晶体串联谐振频率时,π网络中的分布参数会在π网络中引入相移,从而对石英晶体串联谐振频率的测量精度产生较大影响.采用补偿网络并适当选取补偿器件,比如电阻、电感和电容的串联或并联组合等,可以提高串联谐振频率的测量精度至±2 ×10-6范围内.实验中使用的电阻、电感和电容都是定值器件,如果全部换用可变器件,则可能更加精确地确定补偿器件并获得更好的实验结果.

介绍了一种电子散斑测量仪（ＥＳＰＩ），对其测量原理，仪器结构进行了描述，分析了热加载测量机理，用热加载方式对铝蒙皮蜂窝站结构复合航空材料脱粘缺陷进行了无损检测（ＮＤＴ）得到了满意的效果。

数字散斑干涉技术是一种非接触，全场测试的光学测试方法。用数字散斑干涉术时间平均法测得的物体表面稳态振动，可描述为受高频分量调制的零阶Ｂｅｓｓｅｌ函数。文章提供一种在数字散斑时间平均法测振中使用的相移方案，以消除条纹图中的背景分量，使条纹仅与振幅有关，阐述了此方案的原理，并给出实验的结构和结果。