介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。

用基于两个相同直角棱镜构成的气室，以不同的灵敏度分时测量气室的输出光强度，来测定大气消光系数，再根据科施米德（Koschmieder）定律计算大气能见度。测试结果表明，用基于直角棱镜的气室测量的数值与直接透射法所测的数值具有很好的相关性，相关系数为0．98；直角棱镜底面的轻度污脏对测量的影响可不考虑，该方法抵抗环境污染影响的能力较强，提高了长期可靠性。气室输出光束被聚焦后，用光纤束接收并传输到光电探测器，有效抑制了旁轴光束的干扰，光纤分布的不均匀性产生的附加误差小于2．0％。将暴露大气中的光学元件加热，控制了结露现象产生的影响。

压电晶体(PZT)光学移相器作为移相干涉仪(PSI)的关键部件，其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因——类进动，其本质是移相器在伸长的同时其参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的Hariharan五步移相算法。得出了类进动现象所导致的波面相位复原误差计算公式，给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽度、旋转的角度和测试口径等进行了具体分析，由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的准则。

将被动抗振和主动抗振相结合的混合控制技术应用于解决光学移相干涉仪抗振系统的不确定性问题,其中主动抗振采用鲁棒控制策略.该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制抗振模型的不确定性和外部振动的干扰.仿真结果表明,该方法使光学移相干涉仪在振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制准确度.

将结构奇异值u综合鲁棒控制技术应用于主动抗振控制系统中，并用于解决光学移相干涉仪抗振系统的不确定性问题．采用小波分析方法将随机振动信号进行时频分析后得到低频全局信息，随后运用u综合D-K迭代法设计鲁棒u控制器对低频振动进行抑制．该方法克服了由模型自身和外部干扰所引起的不确定性，使得控制系统能够有效地抑制抗振模型的不确定性和外部振动的干扰，同时也具有很高的控制准确度和灵敏度．仿真结果表明，该方法使光学移相干涉仪在外部振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制准确度，同时也能较好地抑制低频振动．

该文利用ZEMAX设计软件设计了远摄比小、前正组顶焦距长的全站仪物镜,讨论了结构选取、各组元光焦度分配、负组调焦距离与视距的数值关系等问题.设计的物镜焦距f'为250 mm,总长为142 mm,前正组顶焦距大于95 mm,最小视距为2 m.设计中应用ZEMAX Program Language建立操作符对前组顶焦距进行控制.结果表明,设计的物镜远摄比小,像差得到很好校正.

追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展，比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式，结构特点，分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。

移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展.目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视.

结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量.作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器.经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1 000 Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6 μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要.

根据时域移相算法的概念,提出了一种空间移相术,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化.运用这种技术在Twyman-Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统,它可以实时测量振动引起的相位变化大小,并通过反馈器件PZT实时校正干涉条纹的相位,使得干涉条纹稳定以保证光学测量的正常进行,与此同时PZT还作为移相器件.