柔性三坐标测量臂用于大尺寸工件的高精度检测及逆向工程，是现代制造业产品精度检测的重要设备。如何做好和完善测量臂误差的分析、检测和补偿，成为提高测量臂测量精度的重要问题。提出了用高精度正交三坐标测量机校准柔性三坐标测量臂关节误差的新方法。通过分析测量臂某一关节的所有几何误差，建立其数学模型；利用正交三坐标测量机和测量臂分别对30个标准球（均匀分布在一个圆上）进行点位测量，测出球心的标称值和实测值，建立了该关节几何误差补偿模型；对工件进行点位测量并进行误差补偿。实验结果表明，通过该误差补偿方法，其最大测量误差从0．04mm降到了0．003mm，提高了柔性三坐标测量臂的测量精度，同时验证了该误差补偿方法的正确性和有效性。

给出了一种柔性三坐标测量臂的机械结构、测量方程以及测量误差线性模型，依据高精度正交三坐标测量机提供的标准，运用最小二乘参数辨识法对测量臂进行标定，并较好地解决了测量臂基准坐标系与高精度正交三坐标测量机的坐标系不能完全重合的问题．给出了标定实验结果，并对结果进行了检验．由于所研制的测量臂采用了比较稳定的机械结构以及输出比较稳定的角度编码器，因此标定效果比较明显．比较标定前后的结果，所使用的标定模型能使测量臂的测量精度提高约20倍，具有较好的标定效果及实用性。