石英振梁加速度计微细加工工艺研究
介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr—Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。
金属三维微结构加工技术的研究
三维微结构制作技术是MEMS加工的关键技术之一.现有的三维微细加工技术主要有利用SU-8等光刻胶形成的以IC工艺为基础的硅三维微结构制作技术和以同步辐射X射线曝光为基础的LIGA技术.但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而可能导致图形的失败.而LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源和特制的LIGA掩模板,加工周期长.为此,基于反应离子深刻蚀技术,结合电镀工艺,提出了一种金属微结构的微加工制作方法,并进行了相应的实验.结果表明,该方法不仅可以制造出深宽比为6的微型金属螺旋线圈,还可以为其他非硅三维微结构的加工提供一定的技术支持.
铝合金液压阀岛中溢流阀静态特性的测试研究
首先介绍了铝合金液压阀岛系统结构及其工作原理,分析了铝合金液压阀岛试验系统设计的要求并建立了相应的试验系统。在此基础上,进行了阀岛溢流阀的各项静态特性的测试试验,并对相关试验的结果进行分析研究。
基于机器视觉的水银温度计读数识别算法研究
基于机器视觉,提出了一种用于识别温度计读数的图像处理算法。对温度计图像进行霍夫曼变换,提取温度计的刻度线和水银柱的特征信息;利用膨胀算法和腐蚀算法相结合的方法,解决了刻度线和水银柱特征信息的间断问题;根据刻度线间的位置关系确定单位像素对应的温度值;通过确定水银柱的截止点来得到水银柱的长度,从而较精确地计算出温度计的读数。实践表明,该算法可达到0.1℃的精度。
基于机器视觉的水银温度计自动读数系统
基于机器视觉技术,结合工业温度计的实际检定环境,研制了水银温度计自动读数系统。介绍了该自动读数系统的光学系统设计和实现,并给出了图像处理方法和过程。实验结果表明,该系统读数精度可小于0.1℃,达到了设计目标,满足应用的要求。
深层页岩气井全井筒水泥环密封能力实验研究
针对页岩气井压裂作业中水平井固井水泥环密封失效的问题,开展了油层套管外水泥环密封能力评价实验研究。充分考虑现场井筒深度、候凝温度和水泥环实际围压的差异,设计了不同的水泥石养护温度和加载围压方案,并基于应力等效方法对全井筒水泥环在试压和压裂工况下的密封能力作了评价。实验结果表明:在实际工况下,不同井段的固井水泥环表现出显著的密封性能差异,且高试压压力易使井筒中上部井段的水泥环失效;在大规模分段压裂工况下,套管及水泥环受到循环交变载荷的影响,会使技术套管和油层套管的环间水泥环出现大量微环隙而导致环间气密封失效,但处于裸眼段的水泥环更易保持完好的密封性。经分析:水泥环的力学性能受温度和压差的显著影响,因此不同井深段的水泥环密封性能出现差异;同时,压裂交变载荷会使水泥环压实并产生累积...
铝合金液压阀岛溢流阀静动双态特性的测试
为测试铝合金液压阀岛溢流阀的静、动双态特性是否满足使用要求,根据铝合金液压阀岛系统结构及工作原理,在分析其试验要求的基础上建立了相应的静、动双态特性试验测试平台。通过对阀岛溢流阀的静、动双态特性的主要性能指标进行测试,得出相关结论。静态特性测试结果表明:被测溢流阀的调压范围符合技术要求,压力振摆较小,且压力偏移值在允许范围内;在额定压力下,流量较低时,被测溢流阀可得到更好的启闭特性。动态测试结果表明:被测溢流阀的压力超调率与试验流量和溢流阀的进口压力有关;试验流量和溢流阀的进口压力增大,被测溢流阀的压力超凋量会增加;当改变被测溢流阀的试验流量和溢流阀的进口压力时,被测溢流阀的压力上升时间及压力调整时间均随之变化。
铝合金液压阀岛中溢流阀动态特性的测试研究
为测试铝合金阀岛溢流阀的动态性能能否满足使用要求,根据铝合金液压阀岛系统的结构和工作原理,在分析其试验要求的基础上建立了铝合金液压阀岛溢流阀的动态性能试验测试平台。通过改变溢流阀的进口压力和试验流量,对阀岛溢流阀动态特性性能进行测试,测试结果表明:压力超调量仅与试验流量有关,而与调定压力无关。试验流量增大,溢流阀的压力超调量会增加,压力调整时间下降,但是其响应加快。当改变溢流阀的试验流量时,溢流阀的压力上升时间及压力调整时间均随之变化。
铝合金液压阀岛的研究及性能分析
本文介绍了铝合金液压阀岛开发的关键技术及解决措施,并对铝合金液压阀岛的性能进行了分析,给出了试验结果.
铝合金液压阀岛中溢流阀静态特性的测试研究
首先介绍了铝合金液压阀岛系统结构及其工作原理,分析了铝合金液压阀岛试验系统设计的要求并建立了相应的试验系统。在此基础上,进行了阀岛溢流阀的各项静态特性的测试试验,并对相关试验的结果进行分析研究。