近两年出现了新型刻蚀技术,将半导体刻蚀用硅电极设计成曲面结构。而曲面硅电极的精度及粗糙度要求非常高,其生产都是在国外进行,具体工艺未知。研究出一套曲面硅电极高效、精密磨削方法。通过分析曲面硅电极零件,提出采用五轴磨削技术进行加工的工艺方案,使用五轴编程软件进行编程,采用具备机内自动化技术和数字仿真技术的五轴磨削中心,对曲面硅电极的磨削加工策略进行验证。结果表明此项加工技术可提高加工效率和产品良率,并减少后续的研磨抛光时间,降低了生产成本。

利用石蜡具有良好的驱动性能设计了一种应用于大型机动车自适应冷却系统的感温阀;为研究该感温阀对温度变化的响应问题,运用数值传热学理论中有限差分的计算方法,建立了其感温元件的二维稳态和非稳态温度场的数学模型,并利用MATLAB软件对这两种数学模型进行了仿真计算。仿真得到感温元件的稳态温度场和一些典型时间的瞬态温度场,通过对这些温度场的分析,得知所设计的感温元件对温度变化的响应能够满足大型机动车自适应冷却系统的要求。

为使测量加速度计的传感器小型化,且不受电磁干扰,根据GRIN透镜在1/4波节处具有入射光线与出射光线成中心对称的特性[1],首次提出并研制了采用GRIN透镜制成的微型光纤加速度计.闭环负反馈电路设计技术被应用于该加速度计中,使之成为一个具有调宽脉冲再平衡性能的新颖加速度测量系统.对该系统进行的数字仿真和精度定量分析表明:该光纤加速度计具有测量线性范围宽、精度高的特点,可广泛应用于惯性测控系统中.

文章采用状态方程法建立较全面的液压进口节流调速系统数学模型,并在MATLAB的Simulink中对方程组进行仿真。分析了系统参数如节流阀开口度、油液体积弹性模量等值的改变对节流调速系统动态特性的影响,并提出改善系统动态特性的措施,为液压系统的设计、液压元件主要参数的选择提供更为准确的科学依据。

对电控柴油喷射系统中的高中力电磁阀工作过程机理深入探讨，建立数学模型，并通过电磁阀测力装置试验验证仿真过程的正确性。

在建立四通阀控对称液压缸动态数学模型的基础上，利用matlab中的simulink具软件建立系统柔性仿真模型，并对其动态特性进行数字仿真研究。得到相关参数的变化对系统性能的定量影响，为该类系统的设计提供快速分析手段，并可确定原点附近使系统动态性能达到较好的一组参数值。

本文研究液压系统动态特性建模理论和方法,对节流调速系统进行了数学建模、数字仿真、动态特性分析及提出改善措施。

为了实现变速周向低应力下料过程中可靠夹紧、送进棒料，设计了相应的液压系统。采用新的建模方法——功率键合图法，建立了新型下料机液压系统的动态数学模型，并用Matlab软件对其进行了动态特性仿真研究。结果表明：管道直径、溢流阀液阻等参数对液压系统中送进缸活塞杆速度和进口压力的影响显著，需合理配置。

平衡阀是液压起重机械中的一个重要元件，针对现有平衡阀存在的问题，提出了基于负载敏感的平衡阀，介绍了其工作原理及结构特点，建立了平衡阀的动态数学模型，借助MATLAB，Simulink进行了数字仿真。研究表明该阀的导控压力为定值，不随负载变化，节能、稳定性好。

通过建立较全面的液压旁路节流调速系统数学模型，应用Matlab的Simulink对方程组进行仿真，分析了系统参数如节流阀开口度、油液体积弹性模量等值的改变对节流调速系统动态特性的影响，并提出改善系统动态特性的措施，为液压系统的设计、液压元件主要参数的选择提供更为准确的科学依据。