误差分离技术是精密检测领域的一种先进技术.本文以圆度误差检测为例,介绍了误差分离技术的基本原理、基本方程的建立及分析方法.

在阐述机床主轴径向回转误差误差分离技术的基础上，介绍了虚位数据法的基本原理，分析了基于信号重建的虚位数据在误差分离技术中的作用，并用此方法把虚位数据应用于机床主轴回转误差分离技术中．

研究了三点法误差分离技术应用于轧辊直线度误差在线测量，对直线度误差进行一，并对测量结果作了分析。

介绍了常用圆度测量误差分离技术：移位法（两步法、多步转位法）与多测头法,分析了移位法与多测头法误差分离技术的特点,阐述了其在实践中几点应用及注意事项。

根据ＥＳＴ的基本原理，用被测深孔的内表面取代通常采用的导轨作为传感器的移动基准，通过对三点法测量结果的误差分析，得出了其测量结果不确定度的数学表达式，同时指出了该方案的可行性判据及其应用条件。该方法应简单，成本较低具有一定精度，能有效解决工程实际中深孔类零件母线直线度的测量难题。

如何排除导轨的基准误差不被带入被测元素形状中，本文就根据误差分离技术的反向消隙法来试探分析其可行性。

三点法圆度误差分离技术（ＥＳＴ）是成熟的圆度形状和回转误差的分离方法，然而在具体实施操作中，必须进行正反两次的快速傅里叶变换（ＦＦＴ和ＩＦＦＴ）。本文介绍一种新的方法；该方法同样基于误差分离技术的通则，但仅需在时域上直接对实测数据按简便代数式进行推即可进行分离虎，避免了ＦＦＴ和ＩＦＦＴ操作，因而更为方便，实时性也更强。

独立分量分析方法(Independent component analysis,简称ICA)在国内尚属一门新型的方法.文章介绍了ICA的无噪声模型、原理、预处理、非高斯性量度以及快速定点算法,重点讨论了ICA的不确定性在圆度误差分离中的处理方法.仿真结果表明,基于独立分量分析的圆度误差分离技术比传统的频域法和时域法更简单、实用、高效,同时由ICA分离出的信号不确定性问题得到了很好的解决.

分析了经典频域三点法测量直行部件运动误差时所存在的谐波抑制,直线度误差的非周期性、非封闭性以及端点不连续而引起的高阶谐波分量失真等方法误差.为了减少上述方法误差,提出了一种新的时域两点法误差分离技术.首先对传感器拾取的数据做对称延拓,这样可以减小由于所采信号的非封闭性所引起的高阶谐波失真.利用频域三点法得到时域两点法所需要的叠代初值.采用现代控制理论研究了谐波抑制的产生机理.通过合理地配置传感器的安装位置可以优化测量系统的传递特性,减少谐波抑制的发生.该方法既可以得到机床直行部件的运动误差,又可以得到在该机床上加工零件的直线度形状误差,这些测量信息都有助于诊断机床的误差源.通过试验验证了该方法的有效性和精确性.

为了测量线振动台的工作台面对运动直线的垂直度误差,分析了检测系统的各误差源,包括运动直线的三维移动误差、测试工具直角方尺的垂直度误差、寄生转动误差等。推导了测微仪读数与这些误差源以及移动位移之间的关系,并设计了误差测量方法,该方法补偿了直角方尺垂直度误差、振动台的寄生转动误差和径向偏移误差,分离出线振动台台面与运动直线的垂直度误差,提高了测试精度。