一种用于高温无损检测的超声薄膜换能器
介绍一种新型压电薄膜换能器在400℃以上高温无损检测中的应用。压电薄膜的最大优点是可直接贴在金属工件上,也可贴在曲表面上,无需大量表面制备,无需声耦合剂,能实时监测在线高温设备的管壁腐蚀状态,为设备安全运行提供了有效保证。
PVDF多点脉搏波计算机辅助测试系统研究
提出了一种新型压电薄膜多点脉搏波计算机辅助测试系统,它包括多点PVDF传感器,多点信号放大装置,以及数据采集系统。该系统可测量脉搏波在寸,关,尺三部的不同信息以及沿血管横截面方向脉搏波的变化,系统软件可全方位,多功能地显示各种脉图,实现多点动态实时测量,并能对脉图进行频谱分析和数字滤波。
一种新型睡眠呼吸暂停诊治仪
介绍了一种基于胸腹运动检测法,应用压电薄膜式传感器的新型便携式睡眠呼吸暂停监测仪的原理和应用,为睡眠呼吸暂停征的普及检测提供了一种简易手段。
检测薄膜压电形变的双光束探测干涉仪的设计
为了检测压电薄膜的在电场作用下的微小形变,同时避免基底弯典效应的影响,设计了一种双光束探测干涉仪,通过反馈控制和锁相检测技术,实现了高稳定度、高分辨力的目标,最小可探测形变可达到0.001nm。系统采用计算机控制测量和数据处理,使测量更加佰、准确。
c轴择优取向AlN薄膜的制备研究
采用MOCVD法在蓝宝石(0001)单晶衬底上生长AlN压电薄膜。用XRD和原子力显微(AFM)技术表征薄膜的微观结构。研究了衬底温度、TMA和NH3流量、反应室气压对AIN薄膜织构特性的影响,并对薄膜生长的工艺参数进行了相应优化。结果表明:在优化条件下制备的AIN薄膜高度C轴择优取向,(0002)峰摇摆曲线半高宽仅为0.100,且薄膜表面平整,椭圆偏振法测出其折射率为2.0~2.4。
压电薄膜特性参数的测量方法
随着电子元器件向微型、高灵敏、集成等方向发展,薄膜材料及器件在微机电(MEMS)系统中得到广泛应用,而测量压电薄膜特性参数的方法与体材料相比有很大的不同。介绍了当前测量压电薄膜特性参数的两大类方法:直接测量法(包括气腔压力法、悬臂梁法、激光干涉法和激光多普勒振动法)和间接测量法(传统阻抗分析法),详细分析了这些方法的基本原理、测试表征、应用状况及存在的问题,比较了这些方法的优缺点,并对未来压电薄膜特性参数的测试表征作了展望。
自发电减速带在道路交通中的设计应用
针对传统减速带存在的弊端,设计了一种新型减速带,可以根据汽车速度的不同实时调节缓冲力度,同时还具有发电的功能,将汽车行驶过程中对减速带的压力势能通过转化收集储存在蓄电池内,通过LED灯在夜间光线弱的情况下提醒司机,避免了车辆的强烈震动影响驾驶的安全性和舒适性。
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