MEMS系统的飞速发展让人们对微尺度领域的研究产生了极大的兴趣。对压力驱动下蒸馏水流过直径20μm微管道的流量一压力、流速一压力特性进行了数值模拟研究。结果表明，在该仿真条件下，蒸馏水的流动规律基本符合宏观条件下的Namer—Stokes和Hagen—Poiseulle方程。在仿真研究中还考虑了重力对流动特性的影响，结果发现，在微米尺度下，重力对流动的流量与速度的影响很小，几乎可以忽略不计。

为了解决拉针器国产化的问题,设计出温度、拉力、拉伸速度等参数可变的试验机.以国产玻璃毛细管为拉制原材料,进行了基于方差分析基础上的4组加热温度、拉力、拉伸速度的不同配置的系列实验,分析了在毛细玻璃管拉伸预拉力在1 280～1 310 g强度允许范围内变化及加热温度对针的长度影响,在试验机上进行了用于微流量分析的圆形玻璃微管道拉制试验,研究了拉伸行程及加热温度对微管道内径的影响,实现了仪器的性能多样化.最后提出了拉针器商品化的设计方案.

介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.

随着微机电系统的发展微流动技术作为其重要的分支其研究越来越显得重要.文章主要对硅油在不同的微管内径下的流动规律进行了实验研究以探索微观领域和宏观领域的区别.本实验中采用的介质是高黏度的硅油微管内径分别为50 μm和100 μm管长为40 mm测量了硅油在该微管道中流动的流量和压力特性.在本实验条件下试验结果基本上与宏观流动特性相似流量和液体的压降呈线性关系N-S方程在此实验条件下仍可以适用.

为了解决微管道（水力直径小于1mm）内流量测量问题,本文利用Micro-PIV对水力直径为230μm的毛细玻璃管内流量进行测量,并对测量误差进行了分析。测量结果表明,利用该技术完全可以实现微通道流量的高精度测量。