该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统，使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统，包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块，并给出了输入系统的第一代实际PCB原型。并且在二维的基础上扩展了微加速度计在三维的应用，设计了一个新的三维模型，并进行了试验的验证。

微阀是微流控系统中起控制限流的重要组成器件.研究的微阀是一种基于微机械加工技术的无活动部件的单向被动阀,其利用通道表面张力的变化产生阻流作用,起到阀的作用.讨论了被动阀的工作机理,利用快速制备原型技术制作微阀,同时在玻璃表面制作憎水薄膜,将玻璃与PDMS基底贴合并施加一定的压力,即可实现微阀的简单封装.取去离子水进行测试,微阀可以成功的停住液流,最大可以产生1kPa的压力降.阀的操作模式试验表明,微阀适合于应用在低压、一次性使用的场合.

介绍了国内外各种角加速度计的结构及工作原理,阐述了角加速度计在国内外的研究现状,通过分析角加速度计的发展趋势,结合现有角加速度计的特点及不足,文中还提出了一种新型的微流体惯性质量角加速度计。微流体角加速度计只敏感输入轴上的角加速度,对外界输入的线加速度或振动能够较好地隔离。

反干涉齿轮集微机电系统密码锁是一种用于要害系统的机电一体化装置，通过访问意图密码与锁体内部固化的机械授权密码比对鉴别实现安全保证．研究了三相四对极轴向磁场微电机的步进控制逻辑，建立了鉴码系统的动力学模型，分析了系统的模态和不同摩擦参数下的动力学响应．分析表明，密码锁实现鉴码功能不仅要考虑驱动器的电气控制，还要考虑鉴码轴系的动态特性．通过控制棘轮棘爪处的摩擦力矩可有效提高微机电系统密码锁的鉴码性能．

本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB接口实现与计算机的通信。本文介绍微加速度计、微控制器、无线射频模块、USB通讯等的集成研究,并对无线传输模块的软硬件做了详细阐述。

提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺,将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合,得到流量大、易于控制的新型微泵.该微泵结构简单,由硅橡胶(聚二甲基硅氧烷PDMS橡胶)振动膜和无阀泵泵体组成,将硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合.采用电镀和硅橡胶加工方法将振动膜直接制作在一个硅片上;用电镀和体硅加工工艺将驱动线圈和无阀泵泵体制作在另一块硅片上,然后将两个硅片键合在一起.对该微泵的性能特点正进行着更深入的研究.

提出一种由圆形板和大量扇形梁构成活动部件的新型高负载电容式微加速度计。通过将固定电极分为检测电极与驱动电极,可实现自检自标定功能。该微加速度计以金属为核心部件材料,并采用UV-LIGA微工艺进行加工。虽然活动部件因全柔性而具有复杂变形、器件内存在复杂机电耦合,但该传感器所建立的计算模型具有精确、快速的特点。采用AD7747对该加速度计进行了测试,并实现了结构参数、材料参数的标定及支撑梁发生破坏、尘粒进入腔室等故障的检查。

三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性，严重的将导致不能正常工作，通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计，能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试，测试前使用单片机将程序写入该芯片，调节其内部参数。使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。

本文研究了基于MEMS加速度计的电脑无线输入设备，给出了输入设备系统的整体构成和主要的硬件组成。本文重点讨论了输入系统的固件设计，即在ARM嵌入式平台基础上，引入嵌入式操作系统，对输入设备的两个子模块进行了软件设计，并给出了一些相应的程序行。

随着信息量的急剧增长，信息安全日益受到人们重视。一个完整的数据加解密系统应该具备安全可靠的密码认证机制和加解密算法。本文基于MEMS强链、USB控制器和FPGA设计了一种USB接口的高效数据加解密系统．采用AES加密算法。普通IDE硬盘挂接该系统后成为安全性极高的加密USB移动硬盘，其平均数据吞吐率接近普通U盘，达到10MB／s。