针对微扫描镜镜面尺寸过小、分辨率过低等问题,设计了一种镜面尺寸为4 mm的大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜。使用COMSOL对设计的结构进行仿真模拟,分析MEMS微扫描镜在不同频率下的振动模态和扭转梁应力,并通过频响曲线分析其运动过程。结果表明,所设计的MEMS微扫描镜能够满足VGA显示模式的要求,水平扫描和垂直扫描的最大光学扫描角度分别为24.36°和59.30°。对比结果还表明,随着镜面尺寸的增加,水平扫描频率逐渐减小,屏幕分辨率逐渐降低,显示模式逐渐变差。

介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器，基于分段磁路的网络方程法，针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点，比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型．实验结果表明考虑线圈绕组半径不同而产生的分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型，便于定量分析微驱动器结构物理参数对于磁通分布和电磁力的影响，从而为进一步优化设计该微电磁驱动器提供了理论分析依据．

我们常见的质量流量计有以下几种形式：S形测量管、U形测量管、双J形测量管、B形测量管、单直管形测量管、双直管形测量管、Ω形测量管、双环形测量管等。其中，U形测量管质量流量计准确度最高且最稳定可靠，它是由流体流过的本体部分和进行信号转换的变换部分组成。本体部分如图1所示，由两根U型振动管、电磁驱动线圈（驱动器）、左右各一对电磁检测线圈（传感器A、B）、温度传感器以及用于将流体均匀分流的分流器组成。

提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺,将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合,得到流量大、易于控制的新型微泵.该微泵结构简单,由硅橡胶(聚二甲基硅氧烷PDMS橡胶)振动膜和无阀泵泵体组成,将硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合.采用电镀和硅橡胶加工方法将振动膜直接制作在一个硅片上;用电镀和体硅加工工艺将驱动线圈和无阀泵泵体制作在另一块硅片上,然后将两个硅片键合在一起.对该微泵的性能特点正进行着更深入的研究.

本文分析PLC技术,提出基于PLC的液压支架电液控制系统构建措施,旨在为增强液压支架电液控制系统的运行效果提供助力。煤矿开采的过程中机械设备的类型较多,液压支架是其中非常重要的设备,主要是在综采工作面上和采煤机设备、刮板输送机设备相互配合,有效完成煤矿资源的开采任务,而传统的液压支架控制方式已经无法满足当前的液压支架安全稳定控制需求,科学合理采用PLC自动化技术构建液压支架电液控制系统具有重要意义,能够提升液压支架控制的可靠性和自动化程度。

文章采用磁力驱动器实时控制激光束中轴与辅助气体喷嘴中轴相对位置,通过实验分析了驱动器轨迹跟踪特性。结果表明,在进行轨迹跟踪实验时,其中一个方向周期性的出现不平滑点。因此设计了无磁环的轨迹跟踪对照组实验,对照组实验结果表明,无磁环时,轨迹跟踪特性较好,但电流在峰值处会出现尖点。通过两组对比实验,分析了轨迹跟踪特性周期性出现不平滑点的原因是由于均布在同一圆上的3组永磁体安装不严格对称引起的。