通过Maxwell方程研究动态条件下三维驱动磁场的非线性分布,利用弱解式方程将Galfenol合金本征非线性模型与复合悬臂梁结构模型进行耦合,得到基于各向异性的悬臂梁磁机耦合非线性模型。模型仿真结果表明,磁感应强度最大的位置出现在靠近悬臂梁固定端的一侧,悬臂梁机械应变的分布结果与磁感应强度类似。分别利用非周期阶跃信号和周期正弦信号对复合悬臂梁进行试验研究。结果表明,所建立的三维非线性耦合模型可以较好地预测试验数据中的死区部分、线性区间以及饱和区间,由于柔性结构中存在的次谐波扰动,阶跃响应中试验曲线出现小幅波动现象,模型可以较好捕捉试验结果中出现的次谐波扰动特征。

为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度，本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后，总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值模拟的方法分别对参考波前误差、相移误差、探测器非线性误差以及光源波动、环境变化引起的随机误差等进行了具体分析，从而得到各种测量误差的大小、存在形式以及与干涉仪结构参数的依赖关系，并提出了相应的避免或减小误差的方法。

针对超磁致精密驱动器（GMA）工作时因电磁线圈发热而导致GMA定位精度差的问题，采用体积小、噪声低、无电磁干扰的压电微泵驱动水流进行散热，以控制超磁致伸棒的温度．制作了一台GMA样机，设计了一个热变形测试系统，进行了GMA在无水冷和有水冷条件下的热变形对比实验．结果表明，提出的温控措施是有效的．

超磁致伸缩驱动器在工作时，温度的升高对超磁致伸缩棒的输出特性有较大影响．在分析温升对GMA输出精度影响的基础上，针对大功率、长时问工作的使用场合，引入了有限元分析方法对GMA进行热分析．分别设计了两组GMA，其中一组具有强制水冷温控系统，另一组无温控制装置．通过热分析得到了两组GMA在电流为4A时的温度场分布，从而可用于指导热设计。