长期以来胰岛素泵的出现给糖尿病患者带来了福音,它的出现彻底的改变了糖尿病的治疗手段.自从上世纪七、八十年代胰岛素泵的出现开始发展到今天,胰岛素泵已经是一个较成熟的产品了.一种闭环,低费用的糖尿病治疗系统是国内广大的糖尿病患者盼望已久的产品.目前市面上还没有闭环胰岛素泵出售,如果将胰岛素泵和血糖检测仪相结合就能得到一种比较完美的糖尿病治疗方法了.介绍一种能实现无痛注射、完全自动控制并和血糖检测仪相配合的胰岛素泵.

利用传统的电阻焊技术实现了MEMS真空封装，制定了基于熔焊的工艺路线，进行了成品率实验,研究了影响真空封装器件内部真空度的各种因素，并对真空封装器件封装强度进行了检测．

通常采用的多次掩模光刻和离子束刻蚀制作微透镜阵列的方法不但制作效率低，而且易产生较大的制作误差。提出了一种在硅基底聚合物薄膜上热压制作微透镜阵列的工艺方法，并利用自制的热压印设备进行了热压制作衍射微透镜阵列的试验，讨论了影响压印精度的温度和压力等工艺参数，对压印的衍射微透镜阵列进行了轮廓测试和部分光学性能测试。测试结果表明，压印制作微透镜阵列的复形误差小于10％，衍射效率高于90％，为高效率低成本制作微透镜阵列提供了一种新的方法。

简要介绍了相干布局数囚禁（CPT）原子钟的实现机理，对构成原子钟系统的碱金属腔及其制作方法进行论述。在对几种不同的碱金属腔制备技术对比的基础上，研制成功了原子钟腔体的专用键合设备，并成功进行了Rb腔的制作，Rb腔测试结果表明：腔体键合质量良好，封装入的Rb元素较纯净，可用于原子钟系统。

开发了一台利用电阻焊实现MEMS器件真空封装的设备，探索了内部真空度在10Pa以下的MEMS器件的真空封装工艺，即一次压力为0．4MPa、二次压力为0．6MPa、充电电压为325V时封装质量最好；研究了一种利用晶振测量真空度的方法，经试验，至少经两天老化后晶振的共振频率才能稳定；对7个真空封装器件进行高低温循环试验，其中有5个器件的真空度在三天后还保持在10Pa以下且趋于稳定，成品率达到71．43％。

为解决在真空腔体中如何利用燕尾槽进行O形圈密封的问题,首先介绍了燕尾槽在金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备研制中的应用,接着介绍了O形圈密封失效的准则,然后利用ANSYS商用软件对不同规格的O形圈及相应的燕尾槽建立了模型,并进行了分析和计算,最后得到了具有较高工程指导价值的结论。研究结果表明,在O形圈密封中,当密封槽采用燕尾槽时,O形圈的压缩率取20%左右,真空腔体的密封性能良好。

基于Excel开发实时监控人机界面（HMI）软件的技术路线，大大降低了实时监控人机界面软件的开发难度和工作量，大幅度地缩短了开发周期，节省了研发费用和投资；不仅使所开发出的软件具有强大的实时监控功能，而且还具有高度的灵活性和可拓展性，支持嵌入式系统项目的研发、生产及维护的整个生命周期的各个阶段。