本文针对日益提高的现代制造精度，以测量圆弧为例，分别从4个方面分析了三坐标机测量圆弧过程中产生误差的原因：以椭圆弧测量代替圆弧测量引起的测量误差、零件本身制造引起的测量误差、测头半径未被修正引起的测量误差、小圆心角圆弧的敏感系数引起的测量误差，并提出了相应的解决方法，从而较大幅度地减小了测量误差，使测量值更接近真值。