提高激光准直精度的途径
在激光准直高精度直线度测量中,激光漂移是影响其测量精度的主要因素。激光光线漂移分为光漂、光线弯曲和随机抖动三种类型,针对不同的产生漂移的原因,需采取适当的补偿方法来解决激光漂移问题,提高激光准直测量精度。本文对不同类型提高激光准直精度的方法进行了归纳,并分析了各方法的优缺点。
角锥棱镜用于激光直线度测量的特性分析
对角锥棱镜用于激光直线度测量时可使测量精度提高一倍的光学特性进行了分析.分析了角锥棱镜的制造角差、面形误差和测量过程中角锥棱镜的偏摆、俯仰、滚转对直线度测量的影响.用实验验证了分析结果.分析结果为角锥棱镜用作激光直线度测量时的误差分析和误差补偿提供了理论依据.
提高直线度测量分辨率的新方法
利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍。实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1μm。
CR扫描仪激光扫描光学系统的设计
设计了一种适合于计算机X射线扫描仪的新型激光扫描系统,其空间分辨率为10lp/mm。针对常用扫描机构的不足,用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂取代传统的Fθ镜头,利用成像板的柔韧性实现圆弧形进片,扫描臂同时作为接收器收集激发出的荧光,从而简化系统结构,提高系统性能。利用所设计的光学系统,分析了激光光点大小对分辨率的影响,结果显示光点越小,系统分辨率越高。分析了系统中影响激光光点大小的因素,在高转速条件下对扫描臂进行了有限元仿真,计算了当入射光与五角棱镜入射面不垂直及五角棱镜存在安置误差时,对激光光点大小的影响。结果显示光点直径最大相对变化量为0.07%,表明所设计的激光扫描光学系统具有一定的容差性和实用性。通过实验验证了所研制扫描仪的性能,结果表明图像具有良好的视觉效果,能够满足工业检测要求。
新型高精度双波长光纤高温计的研究
提出了一种新型的双波长光纤高温计的传感结构和最佳的系统设计方案,分析了非接触式光纤高温计实际使用时可能产生的测温误差。针对各种误差来源,采用一些克服办法,获得了良好效果,在测试范围600-1360℃内,精度达到0.5℃,灵敏度超过0.1℃。
基于半导体激光光纤组件的激光准直仪
介绍一种基于半导体激光光纤组件的激光准直仪,讨论了使用角锥棱镜作为活动靶镜的测量原理,给出了准直仪的软硬件设计方案.通过各种实验表明,本准直仪可直接应用于工业测量.
五角棱镜制造角差及抖动对其转向角的影响
从五角棱镜的原理和特性出发,分析了在理想条件下五角棱镜的转向角不受入射角的影响,详细讨论由于五角棱镜加工角差和相对入射光束抖动对其转向角的影响,给出了相应的精确表达式。其中对于入射光在垂直于入射面抖动的情况,由于不能简单从二维几何光学关系分析,而采用了矢量分析方法,得出:当角差δβ=δθ时,入射角抖动对转向角偏差的影响可以忽略,而转向角偏差与制造角差几乎成线性关系。为五角棱镜用于计量测试误差分析提供了理论依据。结论对五角棱镜的制造也有很大理论指导的意义。
四象限探测器用作激光准直的特性分析
以四象限光电探测器用作激光准直为例,对其探测原理、光电转换特性、影响探测精度的因素进行了理论分析。用数值模拟、实验验证了分析结果,并对影响探测精度的因素进行了深入的探讨,从而为四象限探测器用作激光准直提供了有力的理论依据。
计算机X射线激光扫描仪设计及分析
针对x射线工业检测,设计了一种适合于计算机x射线扫描仪的新型激光扫描系统。用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂以取代FO镜头,利用影像板的柔性成圆弧形进片。同时扫描臂又用做接收器件来收集激发出的荧光,使系统性能提高,结构简单。根据进片方案,确定了扫描仪的系统控制方法,给出了控制过程时序图。计算了当五角棱镜存在安置误差时,对系统分辨率的影响,表明了设计的激光扫描系统具有一定的容差性和实用性。用实验验证了所设计制造的扫描仪的性能,结果显示图像具有良好的视觉效果,能够满足工业检测要求。
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