给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试,从而检测出压力对口腔下方组织的作用力。测量结果表明,该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布。该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方组织作用力。

介绍一种基于电容式微型真空传感器的真空度检测系统.系统利用PIC系列单片机对真空绝热板真空度进行实时测量,试验数据表明精度可达10-2Pa,完全满足测量的要求.

介绍一种以PIC16F876为核心的流量控制系统,通过单片机与计算机通讯,实现远距离的自动控制,控制系统经使用效果良好.文章给出了系统设计原理、单片机程序流程图和硬件电路.

为测量在油气井开发过程中所需要的压力数据，设计制作了一种以PIC16F87X单片机为核心的微型井下智能压力计。在设计中，采用I^2C总线技术中器件地址的硬件接口设置，可同时挂接多个存储器到总线，解决了大容量数据快速存储的问题；利用FT245BL芯片，实现了USB和并行I／O口之间数据传输协议的自动转换。

文章介绍了静液压传动系统的工作原理、特点、及其在厦工XG904等机型上的应用。分析对比了静液压系统与发动机之间、静液压驱动与传动系统之间的匹配关系,结合XG904整机的特点,建立最佳匹配模型,对提出系统设计、配置方案等有重要的参考意义。

介绍了一种实用的平板电容式MEMSRF射频开关。研究了外加驱动电压与由此所引起的极板间距和极板受力变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的设计分析方法,在此基础上设计了相应的MEMS加工工艺流程,并给出了具体的MEMS工艺。

本文详细给出了一种埋入式义齿电容压力传感器在线检测系统。作为义齿治疗的客观化辅助系统。系统在硬件上采用电容式压力传感器完成作用力信号采集，用UA303型A／D采集器作为计算机接口，以计算机作为人机交互、软件处理和显示终端。在软件上，用VC＋＋6．0开发了在线检测系统。系统可实时观察义齿作用力，使义齿下方粘膜及粘膜下方的骨组织所承受的作用力达到有利于支持组织健康的范围。结果表明测量系统具有实时性、系统可靠、界面友好，易于操作以及系统可扩展性强等优点。

高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一.介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器.传感器件由MEMS工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成.对电路的工作过程进行了计算机仿真和试验,并给出了微型高温压力传感器的MEMS工艺设计流程.

为了提高石油钻井装置的可靠性能，在满足石油钻井工艺的要求前提下我们设计一种简单、可靠、维修方便、抗污染能力强的钻机液压系统。该文主要介绍了该液压系统的组成、工作原理及其特点。经过的工程技术人员的审核，该系统已成功应用到浙江顶驱钻采机械有限公司的钻机中调试实验。实验结果表明，该系统具有很强的实用性。