设计了Co-Re化学气相沉积一体化系统,采用两个升华室,分别以Co(acac)_2和Re_2(CO)10为前驱体,通过运载气体H_2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。Co-Re化学气相沉积一体化系统包括机械系统和控制系统。介绍了系统的原理和构成,着重介绍了一体化系统的五个温控系统设计以及各个控制元件的连接和操作。经过初步的测试表明能够给Co-Re涂层的形成提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,此系统能够用于Co-Re合金涂层的制备与研究。

以化学气相沉积Co-Re合金涂层为对象,建立反应室内部数学模型采用计算流体力学CFD方法对化学气相沉积制备Co-Re合金涂层反应室进行三维数值模拟分析,前处理采用ICEM软件划分网格,在fluent15.0中计算了反应室中基底附近流场分布,数值模拟采用非交错网格系统SIMPLE算法,以提高涂层表面均匀性为目的,研究了不同进气口形状、位置、流量大小以及压力对基底附近速度场的影响,模拟结果表明当选用直型喷头、进气口距离基底下表面L为150mm时,进气流量为150mL/min能够得到表面质量相对均匀的涂层,并且压力的变化对基底附近速度场影响不大。

为了减小气浮转台在加工尺寸较大的零件时的变形,对转子的各几何参数进行了灵敏度分析。首先了利用Workbench中Static Structural分析出初始设计尺寸下气浮转台的变形量以及应力大小,然后再利用响应曲面优化分析工具(Response Surface)求出所有几何设计尺寸对气浮转台变形量的灵敏度的大小,选出灵敏度较大的尺寸进行优化设计,并最终确定了一组最佳尺寸。对优化后的尺寸进行有限元分析,其变形量得到了明显的减小,最大变形量由13.02μm下降到了2.98μm,最小变形量由10.39μm下降到了0.55μm。

DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头，但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现，DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径（NA）值对扫描探头的感测范围有显著影响；去掉DVD光学读取头中的音圈电机，避免其迟滞特性的影响，可获得较高的精度；更换数值孔径值为0．16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明，该扫描探头的线性感测范围超过90μm，20min的稳定性误差为82.5nm。

文章简述了制造行业现有设计变更管理模式及所存在的问题,提出一种新设计变更控制思路,且结合Teamcenter（简称TC）平台进行二次开发的实现过程和应用效果进行了简单介绍。

微机电系统封装过程中产生的应力会影响其封装效果与使用寿命,针对微晶玻璃与不锈钢阳极键合温度引起的残余应力问题,采用MARC有限元软件对微晶玻璃与不锈钢键合冷却过程模拟.分析了微晶玻璃与不锈钢在不同厚度比值与面积比值键合结构下的残余应力分布规律.结果表明微晶玻璃与不锈钢厚度比值越小,最大残余应力越小;随着不锈钢与微晶玻璃面积比值的增大,残余应力逐渐趋于平稳.研究结果为改善微晶玻璃与不锈钢阳极键合质量提供了理论参考与设计依据.

介绍了空压机的运行特点及存在的问题,阐述了空压机节能的方法与措施。重点分析了变频调速技术、多机组群控技术和余热回收技术在空压机节能中的应用。