针对传统齿轮箱振动有线监测系统的不足,设计了一款基于ZigBee协议的无线传感器节点。节点以低功耗的STM32单片机为核心,内置Contex-M3核。选取MEMS加速度传感器采集振动信号,使用LTC4070芯片管理电源电路,选用大容量SD卡作为数据缓存区。为了提高程序运作效率,引入RT-Thread操作系统。采用ZigBee和GPRS混合型无线通讯方式。重点介绍了基于齿轮箱振动的无线监测节点的原理与特点,以及节点主要模块的软硬件系统设计。并设计相应试验进行测试,测试结果表明该无线节点适用于齿轮箱的振动监测。

简要介绍了AFM的基本原理及操作模式.系统地阐述了AFM在国内外机械领域的发展现状,并进行了展望.

针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题，提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器。利用敏感材料的压阻效应、传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术，实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性。以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点，对传感器的同振原理进行分析，并基于该机理以及传感器的特殊结构，提出采用注入蓖麻油的方法实现微结构的柱体与所处介质质点同振。分别采用振动台标定和驻波场测量的方法完成了传感器的灵敏度、频响以及指向性的测试，最后对2种测试结果进行了分析和比较。研究结果表明：所研制的水声传感器具有较低的工作频率，其水下自由场声压灵敏度值为-207．6dB（0 dB=1V／μPa，测试频率为200Hz），指向性网的零点深度为50．9dB。

文章针对一种三维MEMS加速度计．提出了三维加速度计的测试方法．并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述．指出该型MEMS加速度计的结构优点及性能特点。针对该加速度计，作者设计了测试装置．制作了测试电路．并在文章中详细描述了测试原理及整个测试过程。分别在三个方向上，对此三维MEMS加速度计进行了多次对比测试．同时采集包括标准加速度计输出和MEMS加速度计三向输出在内的四路信号。以便进行冲击方向上两加速度计的横向对比和三向MEMS加速度计的轴间耦合分析。测试结果表明，此测试方法和装置是可靠有效的，且具有一定的通用性可用于其它类似传感器的测试分析中。

介绍了一种基于MEMS技术的雾化微喷的设计、仿真、加工和实验结果.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从阵列微喷孔中喷出,所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应,不会破坏药液的物理和化学特性.通过有限元仿真分析了微喷液体腔内压力波的分布,并根据仿真结果优化了微喷孔的布置.实验结果表明,该微喷所产生的液滴平均直径15μm,平均速度3m/s.