STM系统的机械振动对STM系统图像的影响非常大。本文提出建立平坦表面的STM的轮廓测量数学模型和建立探针和样品扫描过程中产生的机械振动数学模型，以消除机械振动对STM系统图像的影响。得到更加真实的样品表面结构图像。

对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述.介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用.指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化.只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展.

STM是一种具有纳米级分辨率的精密显微镜.文章简述了STM的基本原理和扫描模式,并总结了国内外将STM应用于机械领域的研究工作,最后对其发展进行了展望.

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）是一种可以在实空间观察到原子级分辨率图像的实验仪器，且发展出许多衍生仪器，如原子力显微镜（ＡＦＭ）、扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）等，统称为扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。但是以往人多数ＳＴＭ是在室温条件下工作的，不能实时观察样品随温度变化的情况。本文介绍德国Ｏｍｉｃｒｏｎ公司新开发的变温超高真空扫描探针显微镜（ＶＴ ＵＨＶ ＳＰＭ），它包括ＳＴＭ和ＡＦＭ两部分，可以在２５Ｋ～１

在普通的STM中，X，Y的扫描大都采用单压电陶瓷管扫描器。为了获得大的扫描范围。一般是将扫描管加长或提高扫描电压。但它要带来几个问题:扫描管太长，就得增大STM的尺寸，势必使它的刚性下降。扫描管是一个整体，X与Y的扫描互相牵扯，即使增大电压，扫描范围不可能作得很大。另外，针尖的扫描面为一球面而不是平面。为此，我们制作了一种简单的小尺寸低电压大范围平面扫描的压电陶瓷双晶片扫描器，基本克服了上述的困难。它是由两个 的长条形双晶片互相垂直呈L形固定在一个角形的基座上。同时也将厚度约0.2mm，同样长宽的磷铜片也呈L形固定在两个双晶片的自由端上，整个组件为一正方形的框架结构，针尖固定在磷铜片中央直角顶端如图1所示。在士90vF，XY的扫描范围可达士料m(图2)。根据实验测定，该扫描器的共振频率为250Hz(图3)。X...

用金作ＳＴＭ针尖，通过一个窄脉冲电压（－４Ｖ，－３００ｎｓ），可在原子平埋的Ａｕ表面稳定观察到原子堆的形成。用这种方法我们成功地进行了纳米书写。实验表明原子堆的形成存在的一个很陡的阈值电场，而且正负电压脉冲皆可形成原子堆，我们初认为它是一个场离子蒸发过程。

本文简单介绍了弹道电子发射显微镜（ＢＥＥＭ）的原理和应用，并给出了用自动研制的ＢＥＥＭ设备得到的一些实验结果。

本文利用大气中扫描隧道显微镜对新型有机功能材料腈基－苯基－脲（ＣＰＵ）的聚合物（ＰＣＰＵ）薄膜进行了研究。在高定向裂解石墨基底上由溶液成膜制备ＣＰＵ聚合薄膜样品，在４２＾°Ａ×４２＾°Ａ扫描范围内获得了ＰＣＰＵ表面结构的ＳＴＭ图像，发现５－８个ＰＣＵ分子聚合在一起形成ＰＣＰＵ分子链。本文给出了ＰＣＰＵ分子链结构模型，并对所观察到的ＳＴＭ图像给予了解释．

本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中，在中等测量范围内，具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生，可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化，并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象，并对它们测量误差的抑制及其补偿方法，并进行了大量的实验，得到良好的结果。目前，该计量型原子力显微镜在其测量范围内，

设计了一种基于STM 32处理器的步进电机控制系统。以自整定模糊PID控制理论为基础,阐述了μC/O S-Ⅲ嵌入式实时操作系统在STM 32处理器上的移植及应用。设计出具有良好人机交互界面的步进电机控制器。首先介绍了整个控制系统的硬件构成,然后分析了模糊PID的控制原理及算法的实现,最后给出了控制系统的软件设计方案。