根据STM和AFM的扫描原理,通过CAM设计了一种新型偏心升降装置,使STM和AFM测试样品的高度大为增加,形成柔性测试系统.根据对实际工况的仿真研究,对装置进行了修改.

STM系统的机械振动对STM系统图像的影响非常大。本文提出建立平坦表面的STM的轮廓测量数学模型和建立探针和样品扫描过程中产生的机械振动数学模型，以消除机械振动对STM系统图像的影响。得到更加真实的样品表面结构图像。

在量子隧道效应的基础上，建立了适用于增坦表面的扫描隧道显微镜微观轮廓测量的数学模型，并采用傅里叶变换方法对该模型进行了仿真验证。仿真结果表明，该模型较好地反映了扫描隧道显微镜对样品表面轮廓的测量过程。最后，文中还对该模型的适用范围进行了讨论。

对扫描探针显微镜(SPM)的基本原理、成像模式及其在超精密加工中的新应用进行了评述.介绍了SPM在微细加工和光刻新技术中的应用.指出纳米级加工机理的研究将依赖于SPM的复合化和多功能化.只有实现了加工与检测的一体化才能正确评价加工方法及工艺参数的优化选择,从而推进超精密加工技术的发展.

研制了双成象单元扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象，计数原子晶格的数目，即可精确测定被测样品图象的尺度，以原子尺寸实现产格的纳米计算，本文介绍了成象单元的ＳＴＭ的原理和仪器系统，讨论原子尺纳米计量的可行性，给出了被测样品图象的米计量结果。

STM是一种具有纳米级分辨率的精密显微镜.文章简述了STM的基本原理和扫描模式,并总结了国内外将STM应用于机械领域的研究工作,最后对其发展进行了展望.

扫描隧道显微镜是基于隧道效应的新一代显微镜。本文详细介绍了ＳＴＡＲ系列ＳＴＭ的软硬件系统，揭示了计算机在这一领域的应用。

在普通的STM中，X，Y的扫描大都采用单压电陶瓷管扫描器。为了获得大的扫描范围。一般是将扫描管加长或提高扫描电压。但它要带来几个问题:扫描管太长，就得增大STM的尺寸，势必使它的刚性下降。扫描管是一个整体，X与Y的扫描互相牵扯，即使增大电压，扫描范围不可能作得很大。另外，针尖的扫描面为一球面而不是平面。为此，我们制作了一种简单的小尺寸低电压大范围平面扫描的压电陶瓷双晶片扫描器，基本克服了上述的困难。它是由两个 的长条形双晶片互相垂直呈L形固定在一个角形的基座上。同时也将厚度约0.2mm，同样长宽的磷铜片也呈L形固定在两个双晶片的自由端上，整个组件为一正方形的框架结构，针尖固定在磷铜片中央直角顶端如图1所示。在士90vF，XY的扫描范围可达士料m(图2)。根据实验测定，该扫描器的共振频率为250Hz(图3)。X...

本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中，在中等测量范围内，具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生，可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化，并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象，并对它们测量误差的抑制及其补偿方法，并进行了大量的实验，得到良好的结果。目前，该计量型原子力显微镜在其测量范围内，

介绍了扫描隧道显微技术(STM)在材料表面进行原子和原子簇的纳米尺度操纵的操纵机制和实际的应用.