对扫描摆镜的驱动机构进行了研究。热像仪扫描摆镜通常采用锯齿波形运动曲线，扫描频率和效率取决于回扫间隔时间。在采用凸轮扭簧机构驱动的某热像仪扫描器设计方案中，利用简谐振动模型来分析摆镜的回复运动过程，并得出了实现快速回扫所需要的角频率临界值。

对由压电陶瓷的压电误差造成的扫描探针显微镜扫描器的运动误差进行了较详细的实验研究和理论分析，分析了各项误差的产生原因及其实验现象，据此可对误差进行判断和修正。

利用一个三维环形探针对离子束进行旋转扫描，可以同时测量到两个束流截面的大小和位置，估算出二截面附近的聚焦梯度以及束腰的移动。

在普通的STM中，X，Y的扫描大都采用单压电陶瓷管扫描器。为了获得大的扫描范围。一般是将扫描管加长或提高扫描电压。但它要带来几个问题:扫描管太长，就得增大STM的尺寸，势必使它的刚性下降。扫描管是一个整体，X与Y的扫描互相牵扯，即使增大电压，扫描范围不可能作得很大。另外，针尖的扫描面为一球面而不是平面。为此，我们制作了一种简单的小尺寸低电压大范围平面扫描的压电陶瓷双晶片扫描器，基本克服了上述的困难。它是由两个 的长条形双晶片互相垂直呈L形固定在一个角形的基座上。同时也将厚度约0.2mm，同样长宽的磷铜片也呈L形固定在两个双晶片的自由端上，整个组件为一正方形的框架结构，针尖固定在磷铜片中央直角顶端如图1所示。在士90vF，XY的扫描范围可达士料m(图2)。根据实验测定，该扫描器的共振频率为250Hz(图3)。XY正

为了提高原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的成像速度，本文提出了一种新的AFM结构设计方案并搭建了相应的实验系统。在该方案中，Y、Z扫描器集成于测头内驱动探针进行慢轴扫描和形貌反馈；X扫描器与测头分离，驱动样品做快轴扫描。X扫描器采用高刚性的独立一维纳米位移台，能够承载尺寸和质量较大的样品高速往复运动而不易发生共振；同时Z扫描器的载荷实现最小化，固有频率得以显著提高。为了避免测头的扫描运动引起检测光束与探针相对位置的偏差，设计了一种随动式光杠杆光路；为了便于装卸探针以及精确调整激光在探针上的反射位置，设计了基于磁力的探针固定装置和相应的光路调节方案。对所搭建的AFM系统的初步测试结果表明，该系统在采用三角波驱动和简单PID控制算法的情况下，可搭载尺寸达数厘米且质量超过10 g的较大样品

该文介绍了全自动吸吮式反冲洗过滤器的技术参数、工作原理、使用和维护的现场经验。